Agilent Technologies UHV-24
тел. +7(499)347-04-82
Описание Agilent Technologies UHV-24
Agilent Technologies UHV-24 (и Ion Gauge UHV-24/UHV-24p)
Описание
Agilent UHV-24 — это датчик сверхвысокого вакуума (ионизационный манометр) с горячим катодом, относящийся к классической серии Bayard-Alpert. Прибор предназначен для измерения давления в диапазоне от 10⁻¹¹ до 10⁻³ мбар (от 10⁻⁹ до 10⁻³ Торр) и широко применяется в установках сверхвысокого вакуума: ускорителях, масс-спектрометрах, электронных микроскопах, установках напыления и поверхностной физики.
Конструкция UHV-24 выполнена в открытом исполнении "nude gauge" — без стеклянной или металлической оболочки, что обеспечивает:
- минимальное выделение газов из корпуса датчика (низкий outgassing);
- высокую точность измерения в области сверхвысокого вакуума;
- возможность прогрева (bakeout) до 400–450 °C непосредственно в составе вакуумной системы.
Датчик использует торированный иридиевый катод (ThO₂/Ir) с низкой рабочей температурой, что снижает химическое взаимодействие с активными газами. Управление и считывание сигнала производится через контроллеры Agilent серии XGS-600 (или совместимые ранее — серии 831, 307 и др.), которые подают питание накала, эмиссии и коллектора и преобразуют ионный ток в показания давления.
Примечание: UHV-24 и UHV-24p — варианты с разными фланцами и длиной коллектора. UHV-24 — стандартный, с коллектором ~ 24 мм; UHV-24p имеет исполнение для Pressure (расширенный диапазон / повышенное давление).
Технические характеристики (типовые, UHV-24 / UHV-24p)
| Параметр | Значение | |---|---| | Тип датчика | Ионизационный, горячий катод, Bayard-Alpert | | Диапазон измерения | 1×10⁻¹¹ – 1×10⁻³ мбар (10⁻⁹ – 10⁻³ Торр) | | Чувствительность | ~ 10/Torr (зависит от версии) / ~ 0,1 A/Torr (по коллекторному току для BA-типа) | | Коэффициент преобразования | около 10⁻¹ A/Torr | | Катод (нить) | ThO₂/Ir (торированный иридий), 2 шт., с возможностью переключения | | Ток эмиссии | 4 мА (стандарт); опционально 0,1 / 1 / 10 мА | | Потенциал коллектора | ~ 0 В | | Напряжение на сетке (аноде) | + 180 В (типовое) | | Напряжение катода | ~ +30 В | | Материал корпуса/электродов | Нержавеющая сталь 304/316, вольфрам/иридий | | Прогрев (bakeout) | до 400 °C (модель –24 STND), до 450 °C ( специальные версии) | | Вакуумное соединение | фланец CF (ConFlat) 2.75" (DN 35 CF) — сменные варианты | | Срок службы катода | > 1 года при 10⁻⁶ мбар (зависит от условий) | | Рабочая температура | 0 … +50 °C | | Рекомендуемый контроллер | Agilent XGS-600, ранее — 831, 307, 830 |
Диапазон отображения давления зависит от контроллера; давление ниже 10⁻¹¹ мбар требует подавления рентгеновского предела (для UHV-24 он достигает примерно 2×10⁻¹¹ мбар).
Парт-номера (Part Numbers)
Классические и распространённые P/N по каталогам Agilent/Varian (набор сменных и базовых узлов):
Головки датчиков (полные сборки)
- 9715010 — UHV-24 Nude Gauge, CF 2.75" (стандарт)
- 9715020 — UHV-24p Nude Gauge (вариант для расширенного диапазона)
- 9715001 — UHV-24 Head, трубка
- L8350301 — сборка UHV-24 (более современное обозначение)
Запасные части / комплекты
- 9715011 — запасная нить катода (ThO₂/Ir), компл.
- 9715100 — запасной коллектор
- 9715200 — запасная сетка (grid/анод)
- 9714001 — керамические изоляторы
- K9454001 — ремонтный комплект ( Cathode / Feedthrough )
Аксессуары и кабели
- 9698638 — кабель подключения UHV-24 к XGS-600
- 9290701 — кабель/переходник для серии 831
- R0306301 — переходный фланец/адаптер
Внимание: Varian (с 2010 — Agilent) периодически менял нумерацию; полный текущий список следует уточнять в актуальном каталоге Agilent в разделе Vacuum Products → Ion Gauge Heads and Controllers.
Совместимые контроллеры и модели
Штатные контроллеры Agilent/Varian для UHV-24:
- XGS-600 — современный мульти-датчиковый контроллер (с модулями для BA-датчиков)
- Multi-Gauge (MG) Controllers — серии 830, 831, 835
- Sentorr / SenTorr — старые контроллеры горячих катод-датчиков
- 307 Vacuum Gauge Controller — ранний контроллер Varian
Совместимые семейства датчиков (аналогичной архитектуры):
- UHV-24 и UHV-24p (взаимозаменяемые по подключению, отличаются конструктивными нюансами)
- 563 xxxx серии (Varian standard BA gauges)
- Серия BA (Bayard-Alpert) от Agilent — 4-мА и другие варианты
Несовместимы напрямую (иная аппаратная платформа):
- Датчики и контроллеры Pfeiffer, Leybold, MKS серии Hot Cathode — требуют отдельного контроллера.
- Extractor gauges (например, Agilent UHV-6/EG-052/054) — иная схема, для 10⁻¹¹ мбар и лучше, требуют специальных контроллеров.
Применения
- Установки сверхвысокого вакуума (UHV) в физике поверхностей (XPS, AES, LEED)
- Ускорители и накопительные кольцы
- Масс-спектрометры и электронные микроскопы
- Плёночные напылительные и травящие системы
- Оборудование для OLED/полупроводников (CVD, PVD)
Если требуется — могу:
- собрать актуальный онлайн — специфический список P/N под конкретный регион/дистрибьютора Agilent,
- дать схему подключения UHV-24 к XGS-600,
- привести кривую чувствительности для разных газов (N₂, He, Ar) и формулу корректировки.
Уточните, какой контроллер и фланец имеются, — тогда подберу точные артикулы.