Mtl 150SCCM

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация по совместимости для MKS Mass-Flo™ Controller (MFC) модели 150SCCM.

MKS Instruments 150SCCM — это не отдельное устройство, а типоразмер (модельный ряд) контроллеров массового расхода (МFC) для точного измерения и управления потоком газов. Цифра "150" указывает на максимальную пропускную способность (full scale), которая в данном случае составляет 150 кубических сантиметров в минуту (sccm) при стандартных условиях (0°C, 1 атм).

Эти MFC являются отраслевым стандартом в полупроводниковой промышленности, вакуумных технологиях, исследованиях и других областях, где требуется высочайшая точность и надежность управления потоком газа.

Общее описание

Контроллеры массового расхода серии MKS 150SCCM преобразуют массовый расход газа в стандартный выходной сигнал (например, 0-5 В или 4-20 мА). Они состоят из двух основных компонентов, объединенных в одном корпусе:

1. Датчик (сенсор) расхода: Основан на капиллярной термоанемометрической технологии. Газ проходит через обходной капилляр, где измеряется перепад температур, пропорциональный массовому расходу.
2. Пропорциональный соленоидный клапан (управляющий клапан): Получает сигнал от системы управления и точно регулирует степень открытия, чтобы достичь заданного расхода.

Ключевые преимущества:

• Высокая точность и повторяемость.
• Быстрое время отклика.
• Широкая совместимость с различными газами (при правильной калибровке).
• Надежность и долгий срок службы.
• Аналоговый интерфейс, простой для интеграции.

Технические характеристики (типичные для серии)

Характеристики могут незначительно варьироваться в зависимости от конкретного парт-номера и поколения устройства.

| Параметр | Значение / Описание | | :--- | :--- | | Модель / Типоразмер | MKS Mass-Flo™, серия 150SCCM | | Полная шкала (Full Scale) | 150 sccm (стандартных куб. см в минуту) для газа, на который откалиброван. Может быть перенастроен на другие диапазоны (например, 100 sccm). | | Единицы измерения | sccm (стандартные см³/мин), slm (стандартные л/мин) | | Точность | ±1.0% от полной шкалы (типовое значение для многих моделей). Существуют версии с повышенной точностью (±0.5% FS). | | Повторяемость | ±0.2% от полной шкалы (типовое) | | Линейность | ±0.5% от полной шкалы (типовое) | | Время отклика | < 2 секунды (до 90% от заданного значения, типовое) | | Входной сигнал (задание расхода) | Аналоговый: 0-5 В постоянного тока, 0-10 В или 4-20 мА. | | Выходной сигнал (измеренный расход) | Аналоговый: 0-5 В постоянного тока, 0-10 В или 4-20 мА (обычно независимый от входа). | | Рабочее давление | На входе: до 1500 торр (≈ 2 атм абс.).
Перепад давления (ΔP): 10-750 торр для штатной работы. | | Рабочая температура | Корпуса и электроники: от 0°C до +50°C.
Газовой части: обычно до +100°C (зависит от модели). | | Материалы, контактирующие с газом | Нержавеющая сталь (серия 316L), Viton® (уплотнения), никель (капилляр). | | Присоединительные фитинги | Вход/Выход: VCR® (стандарт), Swagelok® (опция), быстросъемные соединения. | | Электрические разъемы | Стандартный 9-контактный D-Sub (DB9) или клеммная колодка. | | Напряжение питания | Аналоговые модели: обычно +15 В и -15 В постоянного тока.
Цифровые модели (связь по протоколам): +24 В постоянного тока. |

Парт-номера (Part Numbers)

Парт-номер MFC MKS 150SCCM формируется по схеме, которая кодирует ключевые опции. Без конкретных требований заказчика полный номер не существует. Пример структуры:

MF1-1501151-B

• MF1 — Базовая серия Mass-Flo.
• 150 — Полная шкала 150 sccm.
• Последующие цифры (1151) — Код, определяющий:
  • Тип газа для калибровки (N₂, Ar, O₂, H₂, He и т.д.).
  • Тип входного/выходного сигнала (0-5В, 4-20 мА).
  • Тип фитингов (VCR, Swagelok).
  • Наличие/отсутствие дисплея.
  • Поколение устройства.
• B — Дополнительные опции (например, материал уплотнений для агрессивных газов: Viton, Kalrez, металлические уплотнения).

Примеры популярных парт-номеров (для калибровки по N₂):

• MF1-1501151-B — Классическая аналоговая модель с сигналами 0-5В, фитингами VCR Male.
• MF1-1501152-B — Аналогично, но с сигналами 4-20 мА.
• 1479A-150-AB — Модель из другой популярной серии (1479A) с полной шкалой 150 sccm.
• Для других газов или цифровых интерфейсов (DeviceNet, Profibus, Analog Point-to-Point) номера будут совершенно другими.

Важно: Для точного определения парт-номера необходимо знать: газ, диапазон, тип сигнала, тип фитингов, требуемую точность.

Совместимые модели и аналоги

1. Совместимость по монтажу и электричеству (в рамках продуктов MKS):

• Контроллеры MKS Type 247C — Четырехканальные блоки питания и считывания для аналоговых MFC (например, MF1-xxxxxx). Один блок 247C может управлять до 4-х MFC типа 150SCCM.
• Контроллеры MKS Type 649C — Более современные многоканальные контроллеры.
• Источники питания и платы управления других производителей, поддерживающие стандартные аналоговые сигналы 0-5В/4-20мА и питание ±15В.

2. Прямые аналоги от других производителей (с диапазоном ~150 sccm):

• Horiba (Stec) — Серия SEC-400, SEC-7300.
• Brooks Instrument — Серия SLA/SHO/SH.
• Bronkhorst — Серия EL-FLOW® Select (например, F-111C, F-201C).
• Alicat Scientific — Серия MC (с жидкокристаллическим дисплеем и скоростным откликом).
• Tokyo Keiso (TOKY) — Модели HFC / HFS.

3. Совместимость по газам: MFC, откалиброванный на один газ (например, N₂), может использоваться для других газов с применением коэффициента преобразования (Gas Correction Factor, GCF). Однако для наивысшей точности рекомендуется заказывать MFC, откалиброванный непосредственно на тот газ, который будет использоваться. Например, MFC 150SCCM для H₂ или Ar будет иметь другой парт-номер, чем для N₂.

Резюме: MKS 150SCCM — это эталонный аналоговый MFC для низких расходов. При выборе необходимо точно определить условия его эксплуатации (газ, тип сигнала, фитинги) для формирования правильного парт-номера. Он совместим со стандартными промышленными контроллерами MKS и системами других производителей, работающих с аналоговыми сигналами.