Tokyo Electron WE-22E-TS1-ASP

Отличный выбор. Tokyo Electron WE-22E-TS1-ASP — это высокоточный датчик уровня жидкости (сенсор), критически важный компонент для систем химической подачи (Chemical Delivery System - CDS) в полупроводниковом производстве.

Описание и назначение

Датчик WE-22E-TS1-ASP относится к серии емкостных датчиков уровня WE-22E. Его основная функция — обнаружение почти пустого состояния (Near Empty detection) химического контейнера (бака, бутыли, канистры), установленного в станции розлива или системе распределения химикатов.

• Принцип действия: Датчик крепится снаружи, в нижней части химического контейнера, в специально отведенном месте (сенсорной площадке). Он не контактирует с химикатом напрямую, что исключает загрязнение и обеспечивает долгий срок службы. Датчик измеряет изменение емкости, вызванное наличием или отсутствием жидкости у стенки контейнера.
• Ключевая задача: Подать сигнал системе управления, когда уровень химиката опускается до критически низкой отметки. Это позволяет автоматически инициировать процедуру замены контейнера, предотвращая "сухой ход" насосов и остановку технологического процесса из-за нехватки химиката.
• Модель ASP: Судя по суффиксу, может указывать на специальное исполнение (например, для определенного типа станций или с особыми электрическими характеристиками). "ASP" часто ассоциируется с продукцией TEL для конкретных платформ или как часть определенного комплекта.

Технические характеристики (типичные для серии WE-22E)

• Тип: Емкостной, бесконтактный датчик уровня.
• Определяемое состояние: "Почти пусто" (Near Empty).
• Выходной сигнал: PNP транзисторный выход (стандартно для серии). Сигнал "сухой контакт" (релейный тип) для прямого подключения к контроллеру.
• Напряжение питания: Обычно 12-24 В постоянного тока (DC).
• Диапазон рабочих температур: Приблизительно 0°C до 50°C (для окружающей среды/датчика).
• Корпус: Пластиковый, компактный, для монтажа на плоскую поверхность.
• Соединение: Кабельный вывод (длина кабеля может варьироваться).
• Применение: Совместимые химикаты — широкий диапазон, включая высокочистые кислоты, щелочи, растворители, используемые в фотолитографии, травлении, очистке пластин. Конкретная совместимость зависит от материала контейнера и химической стойкости датчика.

Парт-номера (Part Numbers) и совместимые модели

Важное предупреждение: Точные парт-номера и совместимость должны всегда проверяться по актуальным каталогам Tokyo Electron или через официальных дистрибьюторов. Приведенная ниже информация основана на типичной структуре нумерации TEL.

1. Основной парт-номер и аналоги:

• WE-22E-TS1-ASP — полный номер модели, скорее всего, является специфическим исполнением.
• WE-22E-TS1 — базовая модель датчика "Near Empty".
• WE-22E-TS2 — датчик для определения состояния "Почти полно" (Near Full) в той же серии. Часто используется в паре с TS1.

2. Совместимые системы и модели станций розлива (Dispenser / CDS Stations): Датчик предназначен для интеграции в станции розлива химикатов производства Tokyo Electron (TEL). Он совместим с целым рядом моделей, включая:

• Серия L-REX (Liquid REagent eXchange): Станции для подачи высокочистых химикатов.
  • L-REX 242, L-REX 232, L-REX 222 и их модификации.
• Серия SC-REX (Single-Cassette REX): Компактные станции.
• Серия ACT-REX и другие более ранние или специализированные модели станций розлива TEL.
• Системы химической подачи (CDS) на базе кластерного оборудования TEL для травления (Etch) и нанесения покрытий (Coat/Develop).

3. Совместимые химические контейнеры (Bottles / Tanks): Датчик калибруется под конкретную толщину стенки и материал контейнера. Стандартно работает с:

• Стеклянными бутылями (Glass Bottles) емкостью 1L, 2L, 5L, 10L, 20L.
• Пластиковыми канистрами (PP, PFA, и т.д.) различных объемов, используемых в системах TEL.
• Ключевой параметр — наличие специальной плоской сенсорной площадки (sensor pad) на контейнере, к которой плотно прижимается датчик.

4. Запасные части и аксессуары (примеры):

• Монтажный кронштейн или скоба: Для фиксации датчика на контейнере (например, BRACKET-WE-22E).
• Кабельный разъем или комплект кабеля.
• Прокладка (Gasket): Для обеспечения оптимального контакта и защиты.
• Комплект для замены (Replacement Kit): Может включать датчик, кронштейн, прокладку и крепеж (например, KIT-WE-22E-TS1).

Рекомендации по поиску и замене

1. Сверьтесь с руководством по эксплуатации (Manual) конкретной станции розлива (Dispenser), в которой используется датчик. Там будет указан точный парт-номер.
2. Проверьте этикетку на самом датчике — на ней всегда нанесен полный номер модели.
3. Обращайтесь к официальным дистрибьюторам или напрямую в службу поддержки Tokyo Electron. Для оборудования такого класса использование оригинальных запчастей и подтвержденная совместимость критически важны для надежности процесса и безопасности.
4. Учитывайте, что может существовать модификация "ASP" с улучшенной EMI-защитой (электромагнитной совместимостью) или для работы с определенными типами контроллеров.