Tokyo Electron W3380-000130-11

Описание

Tokyo Electron W3380-000130-11 — оригинальная запасная часть (компонент) для промышленного технологического оборудования Tokyo Electron (TEL), используемого в полупроводниковом производстве. Данный парт-номер относится к категории быстроизнашиваемых/расходных компонентов камеры обработки (точной принадлежности узла) и применяется в установках травления, осаждения или термической обработки пластин.

Компонент поставляется как оригинальная деталь (OEM) и предназначен для замены при плановом техническом обслуживании (PM) оборудования для восстановления параметров процесса и предотвращения незапланированных простоев. Точное функциональное назначение детали (уплотнение, электрод, деталь газораспределения, крепёж или элемент датчика) определяется по сборочному чертежу конкретной модели установки — по одному парт-номеру TEL часто кросс-референсится на несколько узлов.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует открытые каталоги с полными спецификациями на запчасти. Приведённые ниже данные — типовая справочная информация; для гарантированной совместимости требуется сверка с сервисной документацией TEL или авторизованным дистрибьютором.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | W3380-000130-11 | | Категория | Запасная часть / компонент камеры обработки | | Тип поставки | Оригинал (OEM), новая | | Материал | Зависит от узла (нерж. сталь, алюминий, керамика, эластомер) | | Область применения | Полупроводниковое оборудование TEL | | Условия эксплуатации | Вакуум/плазма/агрессивные среды (в зависимости от узла) | | Упаковка | Заводская, антистатическая | | Гарантия | Обычно 3–6 мес. (зависит от поставщика) |

Точные физические размеры, допуски и материал указываются в сервисном мануале к конкретной установке.

Парт-номера (кросс-референс)

• W3380-000130-11 — основной номер
• W3380-000130 — базовая группа (возможны ревизии -10, -12 и т.д.)
• Родственные ревизии: W3380-000130-10, W3380-000130-12 (уточнять взаимозаменяемость у TEL)

Список кросс-номеров ограничен: публичных данных о полных аналогах нет. Рекомендуется запрос в TEL Service или к дистрибьютору с указанием серийного номера установки.

Совместимые модели

Прямой публичный список совместимых установок отсутствует. По практике TEL компоненты с номерами серии W3380 применяются в оборудовании следующих семейств (требует подтверждения):

• TEL Tactras (плазменное травление)
• TEL Telius (плазменное травление / CVD)
• TEL Trias (CVD/ALD)
• TEL Alpha серии (термическая обработка)
• TEL Clean Track серии (литография — для отдельных узлов)

Для точного подтверждения совместимости необходимо указать:

1. Модель установки (например, Tactras Vigus, Telius SCCM и т.д.)
2. Серийный номер
3. Позицию детали на сборочном чертеже (assembly drawing)

Рекомендации по закупке

1. Запросить Service Manual / Parts List для конкретной установки.
2. Сверить парт-номер с актуальной ревизией (TEL часто меняет суффикс).
3. Заказывать через авторизованного дистрибьютора TEL или проверенного поставщика запчастей для полупроводникового оборудования.
4. При заказе указывать серийный номер оборудования — это исключает ошибки совместимости.

Если у вас есть доступ к сборочному чертежу или модели установки — уточните, и я помогу конкретизировать назначение детали и список совместимости.