Tokyo Electron TYB514-1/I048-LF

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация по совместимости для Tokyo Electron TYB514-1/I048-LF.

Общее описание

TYB514-1/I048-LF — это высокоточный электромагнитный клапан (соленоидный клапан) прямого действия, разработанный компанией Tokyo Electron (TEL) для использования в вакуумных и технологических системах полупроводникового производства.

• Основное назначение: Управление подачей или отсечением технологических газов, химических реагентов, охлаждающих жидкостей или других сред в высокотехнологичном оборудовании для травления, химического осаждения из паровой фазы (CVD), очистки и других процессов.
• Ключевые особенности: Класс чистоты, соответствующий требованиям полупроводниковой индустрии, высокая скорость срабатывания, надежность, компактность и коррозионная стойкость материалов, контактирующих со средой (часто используется нержавеющая сталь, PTFE, Viton).
• Тип: Нормально закрытый (NC). При отключении питания клапан закрыт, при подаче питания — открывается.
• Принцип работы: При подаче напряжения на катушку соленоида создается магнитное поле, которое втягивает сердечник (плунжер), преодолевая усилие пружины. Это открывает проходное сечение. При снятии напряжения пружина возвращает плунжер в исходное положение, герметично закрывая клапан.

Технические характеристики (типовые)

Примечание: Фактические параметры могут незначительно варьироваться в зависимости от модификации и года выпуска. Всегда сверяйтесь с паспортом (datasheet) на конкретную партию.

1. Рабочая среда: Чистые и агрессивные газы, жидкости (в зависимости от материала уплотнений). Типично: N₂, Ar, O₂, CF₄, SF₆, хладагенты, деионизированная вода.
2. Присоединение: LF в маркировке обычно означает Face Seal (металлическое уплотнение "торец-в-торец") с резьбой 1/4" (I048, где "I" — внутренняя резьба, "048" — обозначение 1/4"). Возможны варианты: VCR, Swagelok.
3. Проходное сечение (ориентировочно): Cv ≈ 0.1 - 0.3 (зависит от модели). Диаметр отверстия ~ 1-3 мм.
4. Рабочее давление: До 1000 psi (≈ 70 бар) или выше, в зависимости от исполнения.
5. Рабочее напряжение катушки: Стандартные варианты: 24 VDC, 12 VDC, 110 VAC. Наиболее распространено 24V DC.
6. Класс защиты катушки: Обычно IP00 (открытая катушка для установки в шкафы) или IP65 (пылевлагозащищенное исполнение).
7. Класс взрывозащиты: Обычно не взрывозащищенный.
8. Время срабатывания: Менее 10-50 мс (на открытие и закрытие).
9. Рабочая температура: От -10°C до +60°C (для катушки и среды). Для высокотемпературных сред существуют специальные исполнения.
10. Материалы корпуса: Нержавеющая сталь AISI 316L.
11. Материалы уплотнений: Стандартно — Viton (FKM). Доступны опции: PTFE (Teflon), Kalrez (FFKM), EPDM, Perfluoroelastomer для особо агрессивных сред.
12. Степень чистоты: Соответствует стандартам полупроводниковой промышленности, клапан пригоден для чистых сборок (clean build).

Парт-номера и совместимые модели

Этот клапан является частью обширной системы нумерации TEL. Вот ключевая информация по совместимости:

Прямые парт-номера и аналоги от TEL:

• TYB514-1/I048-LF — это полный базовый номер модели.
• Вариации могут касаться материала уплотнений и напряжения катушки, что отражается в суффиксах или отдельных кодах:
  • TYB514-1/I048-LF-V (где V — Viton)
  • TYB514-1/I048-LF-P (где P — PTFE)
  • Может указываться отдельный код катушки, например, для 24VDC.
• Клапаны серий TYB514, TYB515, TYB516 часто имеют схожие присоединительные размеры и интерфейсы, но могут отличаться по расходу (Cv) или давлению.

Совместимые / Альтернативные модели от других производителей:

Клапаны TEL часто являются кастомными или перемаркированными версиями стандартных промышленных клапанов. Прямые механические и электрические аналоги можно найти у ведущих мировых производителей:

1. Fujikin (Япония) / Swagelok (США):

   • Серия Fujikin FR или Swagelok SNO/SVO.
   • Ключевые параметры для поиска: 1/4" Face Seal (LF), NC, Cv ~0.1-0.3, 24VDC, 316L SS, Viton/PTFE.
   • Пример аналога: Fujikin FR-21-1-1-LF или подобный (требует проверки по чертежам).

2. Takasago Electric (Япония):

   • Серия Nano Fluidic или TF Series.
   • Широко используются в полупроводниковом оборудовании.

3. Koganei (Япония):

   • Серия MK или MS для высоких давлений.

4. Parker Hannifin / Veriflo (США):

   • Серия 9S или Air Logic для миниатюрных клапанов.

5. SMC (Япония):

   • Серия VX или SY для высокоскоростных клапанов.

Важные замечания по замене и совместимости:

1. Механическая совместимость: Необходимо точное совпадение:
   • Типа и размера присоединения (1/4" Face Seal LF).
   • Габаритных размеров и межосевых расстояний.
   • Расположения и типа электрического разъема.
2. Функциональная совместимость: Должны совпадать:
   • Напряжение и тип тока катушки (24VDC).
   • Рабочее давление (Pmax) и расход (Cv).
   • Тип действия (нормально закрытый).
3. Материальная совместимость: Критически важно проверить совместимость материалов уплотнений (Viton, PTFE и т.д.) с вашей технологической средой.
4. Для оборудования TEL: При замене клапана в оригинальном оборудовании Tokyo Electron настоятельно рекомендуется использовать оригинальные запчасти от TEL или официально одобренные аналоги. Это гарантирует сохранение класса чистоты, надежности и соответствие спецификациям процесса.

Рекомендация: Для точного подбора аналога или замены лучше всего:

1. Снять клапан и сделать четкие фото всех маркировок, присоединительных размеров и электрического разъема.
2. Измерить ключевые габариты.
3. Обратиться к специализированному поставщику компонентов для полупроводниковой промышленности (например, Fujikin, Swagelok, CKD) или к поставщикам запчастей для TEL, предоставив им полные данные.