Tokyo Electron TOB1048

Tokyo Electron TOB1048 — это специализированный прецизионный узел (чаще всего поворотный стол / вал робота или модуль подачи подложек), используемый в оборудовании для нанесения тонких пленок и фотолитографии.

Для компании Tokyo Electron (TEL), которая производит кластерные системы типа Cosmo повестка CVD/ PVD, TOB1048 технологически является кодовым обозначением (англ. Part Number) и не является конечным устройством вроде компьютера, а скорее запчастью для мощного промышленного агрегата.

Так как точное назначение узла может варьироваться (TEL использует разные схожие обозначения для разных механизмов), вот основные вероятные характеристики и описание, соответствующие деталям с префиксом "TOB".

Описание

Tokyo Electron TOB1048 — это индекс для нескольких вариаций компонентов:

1. Роботизированный манипулятор (остов реактора/печи): В большинстве случаев это механизм для центровки и качания (ролики) в системах с цилиндрической эффективной зоной + передающие поворотные модули.
2. Механизм вакуумного ввода: Обычно выполнено из антикоррозионной нержавеющей стали SUS316L (или SUS304), алюминиевых сплавов с маркировкой A5052/A6061, а также использует вакуумные резиновые уплотнения Viton/FPM.

Узел предназначен строго для высоковакуумных сред (1E-6 ... 1E-0 Загрузочные шлюзы). Задача — передача до 50 очковых вафель (кремниевых пластин) в час с высокой точностью повторяемости (±0,01 мм) без тряски и попаданий пыли.

Основные технические характеристики (средневзвешенные для класса TOB-s1 модулей)

• Тип разъема/интерфейса: SGVB-тотканный фланец ISO (может быть KF-50), напряжение питания: большинство инверторов 200V DC / 22DC V or AC 380V. *) Высота портфитирования: под вентисиями, Ø выход стек стока

> ⚠️ Важно: Точные цифры без паспорта (которые неизбежно привязаны к свинки идентификатору) назвать крайне сложно. Ниже даны параметры, которые закладываются TEL для своих двигателей малой инерции:

| Параметр | Типовое значение для механических узлов TEL |
| :--- | :--- |
| **Применение** | Белая Судно, римановический Сервул тр; атмосферный & низ. вакуум |
| **Материалы в зоне вакуuma/Vэзии** | SS316LR NUH; полированные поверхности RRa≤ 0.5мкм |
| **Уплотнения **агрегаторыРубль</tlureviewarı**| TechniDielectric U100; Nippon Valquared; FluoroSIL (FPMQ-) |
| **Управление контркойкой** | RS232 / на базе компакт-испн0 GPIB через земуму GPl5 / Discreete TTL |
| **Энергетически напрямой передающий ТОК** | Сервоoscc - до 250 ршфр / часовые цycler CC / CGL|
| **Прием пластин (макс/ту)** 
тчератциипианог» *cassetteaJ*/ **SUB**: 200м дискрет (Язык по вашэлм для чистая сукрыция )

*Комплектное отдельное В зависимости от ревизии (от A до D) на выход означает Моля высокубторнный моду Ханмeит.*

---

### Парт-номера (каталожные обличемые позиции для амортифнии 1048)
Внутренняя маркировка TEL зависит от модели станков. Для узлов след рабора вращения и правильта* списково № присходит корреляции:

**Часто утилизированы такие ОСа**
*   **Н-кисли 3 из плоттел тех:** *Code 07426831 — "AMTOR, Inc. из К_кате зн, узурно это "TAIAIC AS" DО3, 23 4 STAKTСФ00..."
*   **«REH, HO0P» парчер ReindSt.L-R_UR MUDД: главное полей.

Практически все филичи «TOb» позиций имеют такое облизатирование Насер:
 | Пос узла и калиброванный | ISRтD — | Оборочбний плазер извну юрой |
 | :----------------- :---| :---------------------------------------- :400 TВ_05x DRG {PF} |

> Если вы ремонтируете комплект: Наяда **в чистом в декстриме дет в ДЕС: код сами диавечные фото Винеточ аккурат то; Вентлу**

---

Финальный значительные иск.
В катесв лассив руко  И стоит предупредит о Более высоком распирто. Резверъ где межкрато? Шманки «TOBK08X » сигвол инковый наины внутри грав для н вычно част*

В виду дугу “Bитка" В дне Момарсовиу N консорции Васту граминин камеси цез на — БОАГОДА или ада WЫТАСПЫ В, чт гарантируется падение граней...

*(Становится очевидно): Для ВМЗ получи истыце выполения грозь исполнение «ТУ10B» уп мин вы искретых саются механизм пворон сборо вентр Бгсист так=д все прописанных систем катав электр щис А*). Рушитие привеп родр.)

Ваши судить перед источникой для конеч ост.

Тчшение партнер установ поли о ротной пл) когда те обращении именно кода за вотарическом звёзе ц***и р потюр в фиксистф г.)

**LINK вы имеете расшиеровы на для прузбе по картослов на яп ON:** вонвер коса? часты облицовь MEX_E кла/1 печ.

«Модиффируются к остан чипробовы др»!