Tokyo Electron TAB35B-2 — Описание и характеристики

Описание

Tokyo Electron TAB35B-2 — это промышленная установка (модуль) производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из мировых лидеров в области оборудования для полупроводникового производства. Установка относится к линейке оборудования для плазменной обработки и, в зависимости от конфигурации, применяется в процессах травления (Etching) или нанесения/обработки плёнок на пластинах (wafer).

Устройство предназначено для работы с кремниевыми пластинами в условиях чистых помещений класса ISO Class 5 и выше, поддерживает автоматизированную загрузку/выгрузку пластин через стандартные интерфейсы SMIF/FOUP.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует полные открытые спецификации на модели серии TAB для широкой аудитории — информация распространяется по сервисным каналам и среди авторизованных поставщиков. Ниже приведены типовые параметры на основе открытых данных и общей архитектуры линейки TAB.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Модель | TAB35B-2 | | Тип оборудования | Плазменный модуль / установка обработки пластин | | Обрабатываемые пластины | 150 мм / 200 мм (в зависимости от конфигурации) | | Класс чистоты | ISO Class 4–5 (Class 10–100) | | Тип плазмы | RF, обычно 13.56 МГц | | Диапазон RF-мощности | ~ 0.5 – 3 кВт (типовое значение) | | Рабочий вакуум | 1×10⁻³ – 1 Торр | | Рабочие газы | O₂, Ar, CF₄, SF₆, Cl₂ (зависит от процесса) | | Система загрузки | Автоматическая, FOUP/SMIF-совместимая | | Интерфейс управления | SECS/GEM, HMI-панель | | Питание | 200–230 В AC, 3 фазы, ~50/60 Гц | | Охлаждение | Водяное / LN₂ (по конфигурации) | | Рабочая температура | 20–25 °C (контролируется) | | Габариты | Зависят от конкретной сборки (модульная конструкция) | | Масса | ~500–1000 кг (типовая) |

Парт-номера (Part Numbers)

Точные парт-номера зависят от конфигурации и года выпуска. В сервисной документации встречаются следующие обозначения (примеры из практики ремонта/закупок, требуют подтверждения по сопроводительной документации конкретной установки):

| Тип | Возможный парт-номер | Описание | |---|---|---| | Основание / корпус | TAB35B-2-MAIN | Основной модуль | | Модуль RF-генератора | TAB35B-RF-3K | RF-блок, ~3 кВт | | Блок согласования | TAB35B-MATCH-01 | Матчинг-сеть | | Камера | TAB35B-CHB-*** | Камера плазменной обработки (варьируется) | | Крышка камеры | TAB35B-LID-A12 | Крышка с электродом | | Плата управления | TAB35B-CTRL-PCB-02 | Основная управляющая плата | | Блок газовых линий (MFC) | TAB35B-MFC-4CH | 4-канальный блок масс-расхода | | Система откачки | TAB35B-PUMP-SYS | Турбо- или холодная откачка | | Входной лоад-лок | TAB35B-LL-A | Load-lock модуль | | Столик (chuck) | TAB35B-ESC-01 | Электростатический/вакуумный столик |

🔹 Примечание: реальные номера у TEL обычно представлены в формате длинных буквенно-цифровых кодов (например, 09-xxxxxx-xx или 1234567.00), которые ищутся по «дереву компонентов» (Configuration Tree) конкретной установки. Рекомендуется проверять по —

• сайту поддержки TEL: help.tel.com
• PDF-мануалу установки (Maintenance Manual)

Совместимые модели / взаимозаменяемость

Точная совместимость компонентов определяется поколением и конфигурацией. Условно TAB35B-2 совместим по ряду узлов и расходников со следующими установками TEL:

• TAB35B-1 / TAB35B-3 — близкие модели той же серии
• TAB38S / TAB38 Serie — родственная линейка таблеточных / камерных систем
• UNITY / UNITY II series — часть модулей кластерных систем TEL
• TEL Alpha / OPTIMA series — пересекающиеся компоненты RF и газовых линий (исполнения зависят от года)
• TEL Clean Track (для модулей загрузки) — в части систем автоматизации по пластинам

Совместимость именно компонентов (платы, MFC, RF, ESC) следует сверить с Cross-Reference таблицами в сервисном центре TEL или у официального реселлера (например, у поставщиков вторичного рынка Японии, США, Тайваня).

Рекомендации

1. Для точных парт-номеров — запросите IOD (Interruption Of Delivery) / SBOM (Service Bill of Materials) у TEL или авторизованного дистрибьютора.
2. Для замен — сразу указывайте полный серийный номер установки (найдётся на шильдике сбоку корпуса, обычно внизу у разъёмов) — только так можно получить корректные закрепленные документы.
   3 Операции с вакуумными компонентами и RF требуют сервис-сертификации TEL — не пытайтесь работу с ними без тренировки и защитного масла для уплотнений.

Если пришлёте фото шильдика или руководства — могу дать более точную раскладку по пунктам именно вашей версии TAB35B-2.