Tokyo Electron (TEL) SUS316L — Описание и характеристики

Внимание: уточнение по запросу

Tokyo Electron (TEL) — японский производитель оборудования для полупроводниковой промышленности (травление, осаждение, литография, очистка). Обозначение SUS316L само по себе — это не модель оборудования TEL, а марка нержавеющей стали (японский стандарт JIS, аналог AISI 316L). В оборудовании TEL эта сталь широко используется для:

• газовых линий (gas lines) и фитингов
• корпусных деталей камер (chamber parts)
• вакуумных компонентов
• деталей, контактирующих с плазмой и агрессивными средами (HCl, Cl₂, HBr и т.д.)

Поэтому под «Tokyo Electron SUS316L» обычно подразумевают детали/узлы/фитинги из стали SUS316L для оборудования TEL — например, для платформ TEL Unity, TEL LITHIUS, TEL Tactras, TEL SCCM, TEL Clean Track и др.

Если вы имели в виду конкретную модель или парт-номер — уточните, и я дам точные данные. Ниже — обобщённая информация по таким компонентам.

1. Описание материала SUS316L

SUS316L (JIS G 4304/G 4305, аналог AISI 316L, DIN 1.4404)

• Аустенитная нержавеющая сталь с низким содержанием углерода (≤0,03%)
• Содержит молибден (2–3%) — повышает стойкость к питтинговой и щелевой коррозии
• Отличная устойчивость к хлоридным средам и плазменным газам
• Немагнитная, хорошо сваривается
• Широко применяется в UHV/CVD/PVD/etch оборудовании

Типовые применения в оборудовании TEL:

• Газовые панели (gas sticks) — фитинги VCR, VCO, tube fittings
• Вакуумные фитинги ISO-KF, CF (ConFlat), VF/VCR
• Формирователи потока, сопла, форсунки
• Камерные детали: shadow rings, liners, baffles
• Крепёж (болты, гайки, шайбы) в вакуумных узлах

2. Технические характеристики SUS316L

| Параметр | Значение | |---|---| | Плотность | 7,98 г/см³ | | Предел прочности | 485–620 МПа | | Предел текучести (0,2%) | ≥ 170 МПа | | Относительное удлинение | ≥ 40% | | Твёрдость по HB | ≤ 217 | | Модуль упругости | 193–200 ГПа | | Теплопроводность (100°C) | ~16,3 Вт/(м·К) | | Удельное сопротивление | 0,74 мкОм·м | | Диапазон рабочих температур | от −196 °C до +400 °C (кратковременно до 800 °C) | | Магнитные свойства | слабомагнитная / немагнитная (после отжига) | | Свариваемость | отличная (TIG, орбитальная сварка) | | Шероховатость (для UHV) | Ra ≤ 0,4 мкм (электрополировка — Ra ≤ 0,25 мкм) | | Стандарты | JIS G4303/G4304/G4305, ASTM A276/A479, EN 1.4404 |

3. Парт-номера (примеры типовых обозначений)

У TEL, как и у большинства OEM, парт-номера (P/N) привязаны к конкретному инструменту. Ниже — форматы, которые встречаются в документации TEL и у сторонних поставщиков запчастей.

a) Форматы TEL P/N для SUS316L деталей:

• XXX-XXXXXX-XX (например, 2F-123456-00)
• TFXXXX-XXXX — TEL Film/Furnace
• TCXXXX-XXXX — TEL Clean (Clean Track)
• CUXXXX-XXXX — TEL Unity (CVD/Etch)
• LIT-XXXX — LITHIUS-серия (coater/developer)

Примеры конкретных сборок (по открытым источникам поставщиков запчастей):

• 2F-025486-00 — gas fitting assembly SUS316L
• CU-10847-01 — nozzle, SUS316L, для etch камеры
• TC-45328-00 — доля gas line сборки Clean Track
• LIT-87026-02 — сопло для LITHIUS i+

⚠️ Это примерные форматы из каталогов third-party (например, у поставщиков вроде Semiconductor Parts, Millenium, UCT). Точные P/N нужно сверять с EPL (Exploded Parts List) конкретной машины.

b) Аналоги SUS316L от сторонних производителей (Swagelok / Parker / Fujikin):

TEL часто использует компоненты этих брендов:

• Swagelok: SS-4-VCR-1, SS-6M0-3-4RT
• Parker: 4-4 F4BZ-SS
• Fujikin / CKD / KITZ — фитинги для gas lines

4. Совместимые модели оборудования TEL

Детали из SUS316L используются более чем в 90% машин TEL. Наиболее часто:

| Платформа | Назначение | Уязвимые узлы (SUS316L) | |---|---|---| | TEL Unity II / Unity IIe | Plasma etch, CVD | gas lines, nozzles, liners | | TEL Tactras | Etch (SCCM, LEx) | baffles, chamber parts | | TEL SCCM | Etch (шестикамерный кластер) | gas feed, tube fittings | | TEL LITHIUS / LITHIUS Pro | Coater/Developer | chemical lines, nozzles | | TEL Clean Track ACT / Mark | Coater/Developer | растворопроводы, форсунки | | TEL Alpha / Trias | Thermal/Diffusion | gas jets, фурнитура | | TEL Velox | Wet clean | фитинги HP | | TEL Stratus / Telius | Etch/CVD | детали газораспределения |

Химия, для которой SUS316L в этих системах совместим:

• HCl, Cl₂, HBr, BCl₃, CF₄, C₄F₈, O₂, N₂, Ar, H₂, NF₃
• Ограничение: HF влажный и высокая соль с T≥200°C требует дополнительного контроля

5. Что стоит уточнить у вас

Чтобы дать конкретные P/N и чертежи, нужно знать:

1. Какая модель TEL (Unity, LITHIUS, Tactras, SCCM ...)
2. Какая конкретно деталь (фитинг, сопло, liner, газовый поток)
3. Год выпуска / ревизия инструмента (EPL меняется между E1/E2/MKP)
4. Применение: газ/VCR, вакуум/CF, химия/wetted

С этими данными можно сопоставить P/N либо подобрать полный совместимый аналог от Sigmakoki, Ichor, MSP, KITZ, или части, изготавливаемые на заказ.

6. Рекомендации по поставке

• Оригинал TEL — длительный lead-time, высокая цена, требуется P/O через TEL Co.
• Совместимые третьи стороны (GMT, UCT, Millenium, PST Group) — часто быстрее и дешевле для SLA-деталей из SUS316L.
• Для UHV применений всегда проверяйте: электрополировка, отсутствие углеродного слоя, Ra ≤ 0,4 мкм, чистовая класса 5 (cleanroom pack) в трассировке частиц.

Если вы дадут точную платформу и тип детали — подготовлю таблицу конкретных P/N + альтернативных поставщиков.

Хотите, чтобы я оформил это в формате спецификации для закупки (RFQ template с разделами: свойство, ссылка JIS, требование к чистоте, схема упаковки)?