Tokyo Electron SPIN0G — Описание, технические характеристики, парт-номера и совместимые модели

Описание

Tokyo Electron (TEL) SPIN0G — это промышленная установка для спин-процессинга (spin coating / spin development), применяемая в производстве полупроводников и Flat Panel Display (FPD) для нанесения фоторезиста, проявления и нанесения антибликовых/защитных покрытий на подложки. Технология вращения (spin coating) позволяет получать плёнки толщиной от сотен нм до десятков мкм с высокой равномерностью.

Серия предназначена для работы в техпроцессах передовых узлов: от 200/Wafer 300 mm (SFX/SFX-C) до G4.5/G6 FPD. Установка позиционируется как высокопроизводительное решение для массового производства.

Технические характеристики

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Тип | Спин-кухня для покрытия (Resist Coat) | | Модели | SPIN0G-SFa / SPIN0G-SFx (серия G) | | Обрабатываемые подложки | Wafer 200 mm / 300 mm, FPD | | Производительность | ~120–150 пластин/час (в зависимости от рецепта) | | Диапазон вращения ротора | 100–5000 об/мин (точной настройки — до 3000 об/мин у части модификаций) | | Точность вращения | ● удерживание стабильности ±1 об/мин | | Система нанесения | Толкающая/Z подвеска, скользуны, критический контроль положения сопла | | Интерфейс управления | TEL собственный, SECS/GEM (SEMI E5/E30/E37) | | Поддержка краев (EBR) | Встроенная опциональная система Edge Bead Removal | | Производительность (в списке) | Совместимость с модулями CCP, TRACK, CLEAN | | Энергопотребление | 3-фазная сеть, 380–480 В, ~10–15 ква | | Габариты (пример) | ~2500 (Ш) × 1800 (Г) × 2500 (В) мм | | Вес | ~1500–2000 кг | | Год выпуска серии | с середины 2010-х |

Точные характеристики, номинальная чистота процесса и совместимые технологии (ArF, KrF, EUV резисты) под конкретный индивид нужно уточнять по документации машины или по service-номеру.

Парт-номера

Парт-номера модулей и узлов серии SPIN0G включают:

• SPIN0G-SF7 — модуль spin coating, step-clean версия
• SPIN0G-SF8 — под обработку 300-mm
• SPIN0G-SF12 — линия для FPD
• 2H-101250-XX — крановый прибор/соленоид управления (запорный/распределительный в узле)
• **99-3231