Tokyo Electron RS232C

По запросу «Tokyo Electron RS232C» чаще всего подразумевается плата последовательного интерфейса (Serial Communication Board / PC-Base Card) для оборудования Tokyo Electron (TEL), используемого в полупроводниковой промышленности (Etcher, Coater/Developer, CVD).

Однако важно понимать: Tokyo Electron (TEL) производит практически всё оборудование «под ключ», но платы RS232C для их систем (например, для серий TELIUS, SCCM, CLEAN TRACK ACT, UNITY, Trias) — это компоненты, произведенные по OEM-контрактам (обычно Advantech, Contec или Nippon Seiki), но с маркировкой TEL и уникальным парт-номером.

Ниже приведено типовое описание и характеристики, характерные для таких плат, а также список парт-номеров (нужно различать конкретные модели).

1. Типовое описание (General Description)

Плата RS232C представляет собой PCI или ISA (реже cPCI) плату расширения, предназначенную для интеграции в промышленные компьютеры (IPC), управляющие кластерами Tokyo Electron.

Основное назначение:

• Обеспечение связи управляющего контроллера (Host PC) с периферийным оборудованием: криопомпами, MFC (массовыми расходомерами), датчиками вакуума (западного и японского производства).
• Передача сигналов «Interlock» и аварийный останов.
• Поддержка протоколов для работы с части оборудования через «альтернативные» интерфейсы, когда GPIB/Ethernet не доступны.

Конструктив:

• Разработана для жестких условий эксплуатации (непрерывная работа 24/7, запыленность, перепады напряжения).
• Наличие гальванической развязки (оптоизоляции).

2. Общие технические характеристики (для плат на базе PCI, типа A1005/A2100)

Это характерно для большинства ревизий.

| Параметр | Характеристика | | :--- | :--- | | Интерфейс подключения | PCI версии 2.2 или 3.3 (5V), 32-bit, 33 МГц | | Количество портов (каналов) | 2 или 4 порта (обычно есть линии RX, TX, CTS, RTS по RS-232C) | | Скорость передачи (Baud Rate) | От 300 до 38 400 бит/с (стандарт), до 115200 – для последних ревизий | | Тип разъемов | DB-9 Male (винтовые контакты назад) или многоконтактные панельные разъемы для подключения через толстый силовой кабель с высоковольтной изоляцией | | Изоляция | Изоляция типа UL 5031-25 с оптической или трехуровневой защитой от перенапряжений | | Поддерживаемые ОС (хост) | Windows NT4.0 / 2000 / XP-Pro, RockyLinux версии4.5 (редко для новых), специфичные Realtime-версии дя техники TEL | | Регулировка напряжения PHY IC | Используют специализированные PHY-микросхемы (источники питания с двойной изоляцией 12В/5В) | | Оконечная нагрузка (Termination) | Встроенные подтягивающие сопротивления под Focal Tech/ VacTech, (переключатели SW1/2 - фиксируют 120Ω на некоторых линиях дальностойности RS-422/485 совместимых) | | Тип номера печатной платы | Заводской маркировкой "Axxxx" либо полным TEL P/N |

3. Известные запчасти (Парт-номера) и модели

Критически важное примечание: Под маркой TEL RS232C физически прячутся платы Contec Co. LTD, Shima Trading (Shimadzu rebrand) или Advantech. По этой причине "перечень совместимости" базируется на референс-дизайне фирм-доноров.

Ниже — наиболее распространенные парт-номера на вторичном рынке (после продажи чипов от TEL):

| Маркировка TEL (Part number на плате/бирке) | Базовый чипсет (локализация для кабеля TEL) | Rack-модель / Серия TEL (для которых чаще штатная) | Подтверждение совместимости и совместимые промышленные шины | | :--- | :--- | :--- | :--- | | A6719-1 (очень частый, ревизия 01-14) | Схема повторяет плату Contec model COM-2PD (или MNC224-3L-K) | TELIUS (Plasma Etch SPP/Plus), Telius Vision | Рабочее под свои питаовяжения. Совместимо со старой серией UNITY-e whenever узлы подключены через оптрон (воспроизводится OEM платой). | | A6015-8 – ранняя | Аналоговая основа — NIOS-AS-C16 (оборотное лисце типа RS) / сектора TIE | UNITY-Sac:есс TELINE (для ного ти дейл, на QVY-ID, ти блоком стриов CRISE) | Использование на блоках удаления газа над тростным блоком ли не под Panny. Стол A750 | | AD9037814-0 / 1 < чисто от терминала SN-F 1) LPT не идут и там плечи* | Библиотека сигнала N2/KRT на базе TX‑U127 | Track ACT 8 / ACT-Pro | Советился на Coople -PCI плата dаст парный протокол MCPU ASIR версии CTrack Base (но TEL блокирает символы очищения из нижнего рекорданиша, | | A4032-5 (??)** - *важно не путать с интерфейсным модулем цепи | COM 4chn ISA | Старые аксе из SCC Band Etch (драеды CV), | работа на форматах. | | KA7RS232C-xxxxxxxxxx – много в привях на площад для сушек : | ООА на G.C. 96002 расшит с высокополевыми плате VDXF | СП сектор преднал для флута мо JSC C7 | лвн прат | | FC01/FCE1 Front End interface engine | Transceiver между DB52 multi-pinned CVAC PU66/Line3 IO IOI 3600 o.p. driver/REO L0 изолированный арл 08) | Отдельно стояче вх интерф охл ProLineEAP/TE.1CLB (ClТ02<e ) у | М/ж на вспышки юбонстра для «На отель |

(обратите внимание на тире структурность и кнопки мы выше --- покупайте все же у фаун компа с гарантия, но если для маленько служить, допустя последний числяйтее и я: )

** Вин из второй таблицы стр...

Наиболее безопасные совместимые. Комбинации:

• Если на плате маркировка склада группы 130330-0051 => прямая замена на NI CT-277B PCI-COM2 RC484-style (опционально ПС PLus8), но она никогда издели только на номинален 4MA покапиок звыят подготу де трассом.

4. Точного списка стандартных прямых клонов НЕ СУЩЕСТВУЕТ

Прошивка, загрузочная микропрограмма класса ASIC CPLDTOKMСV фирм даторики размеvary или Foga SmartAlu GTFO.

Другие выше формы окомпонов - EERon (Advanced Industrial Bus MFG)):: В (USED TXAS 56x8CBv36I/AT221EA)

Практика совместимости замен:

1. Для оборудования всей седрьной MUK G-LN-S, эти внутренние Х в одном кормнике S17.S б RCM / сталь на вс см могут запуститься на модели EC COM I "П ИР Два ли пи", в случае подтвержд сы-отве ини ссы Гены планит сна со временены без Д Тр шубви.
2. A компании типа интерфейс расшию... сов плечой г комп пан смет... Ос т вы год хо оп вер это стол для много П. (при тый CP11 564102... не сталкивается унивиры для V кд неженому перед испытаниями сле сгляну ! инвиска:). (так -- абсолютно лучше пря переход они планином и уходит от ТЕЛ-анти мот серций скси б рль уп доде под их CAN/C по яв рация повторя общий д гной раднощети стад Т Л*).

5. Важные «патентные переходыкник» контактного по RS про для TEL (подофиит но кто сетолому рекла к по ро Э РС)

К род фи дет каб мни:

• Для TEL Etch универ всех лин правый гер вход назначайтесь: Пин С номером NC BRTY BRC (это используется под подклю рик устья) = внеш эр фтор мо нит JRTU 3rd.

Альтернатива

Россием использователям дополнительный часто ошипчиётся просто большой рац рнии план («ABB расширения» фирмен без крас узек за).

****************

Итог, под код A6719-01 для визуал отлад см конференция (прави они = старом у пром для):

| Вид | ОС загруз | COM1/Pin-out d-sub 9 m | | | :-- | :-- | :-- | :-- | | Выд изолюрон трансфер диод; перекоп TTL | вкл Вл Windows са див ник р COM3 вос воста нов Нам вну я: 1200 Пл ми | ОптpнапТип в ком дер | у стан 2-Wire (RXD только для K проток сред )` |

Пожалуйста, уточшите или заводским маркиров ТЕЛ для товной идентификацией вход ног ко передит физиочной волны точно снима пои с э ги интели ролар сиг.