Tokyo Electron PM081005-0A — Описание и технические характеристики

Описание

Tokyo Electron PM081005-0A — это высокоточный компонент, используемый в оборудовании для производства полупроводников компании Tokyo Electron (TEL). Данный парт-номер относится к категории кварцевых/керамических деталей камеры (process kit), применяемых в установках плазменного травления (etch), CVD/PVD или системах очистки пластин.

Компонент предназначен для работы в условиях агрессивной плазменной среды, высоких температур и вакуума, обеспечивая стабильность процесса нанесения/травления и защиту внутренних элементов камеры от осаждения побочных продуктов.

Типовое назначение:

• Защитный элемент (shield, ring, cover) камеры
• Деталь газораспределительной системы
• Изоляционный/диэлектрический компонент
• Элемент process kit для предотвращения загрязнения пластин

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | PM081005-0A | | Категория | Process kit / запасная часть | | Материал | Кварц (SiO₂) / керамика (Al₂O₃) / SiC — уточняется по ревизии | | Рабочая температура | до 600–1200 °C (в зависимости от материала) | | Совместимость сред | Плазма на основе F, Cl, O₂, Ar | | Чистота материала | Semiconductor grade (SEMI Standard) | | Точность обработки | ±0.05 мм и ниже | | Класс чистоты | Cleanroom Class 100 / ISO 5 | | Срок службы | Зависит от условий процесса (обычно 500–3000 RF-часов) |

⚠️ Точные габариты, масса и материал варьируются в зависимости от ревизии и модификации процесса. Для получения полной спецификации рекомендуем запросить datasheet у TEL или официального дистрибьютора.

Парт-номера (родственные/альтернативные)

Обычно в линейке TEL парт-номера схожего назначения включают вариации с суффиксами, например:

• PM081005-0A — базовая версия
• PM081005-1A / -2A / -3A — ревизии (модификации материалов или размеров)
• PM081006-0A — вариант с измененной геометрией
• PM08xxxx серия — семейство деталей одного узла камеры

Точный список актуальных альтернатив формируется по конкретной модели установки. Укажите номер вашей системы (например, Tactras, UNITY, Telius, Vigus) — и мы подберём соответствие.

Совместимые модели оборудования

Компоненты с парт-номерами серии PM08xxxx чаще всего применяются в:

• Tokyo Electron Tactras (системы плазменного травления)
• Tokyo Electron Telius (CVD/Etch)
• Tokyo Electron UNITY (Etch/Clean)
• Tokyo Electron Vigus (плазменная очистка)
• Tokyo Electron Clean Track (серия Lithius/Clean Track — при соответствующих process kit)
• Отдельные модификации Triase и eMax (в зависимости от конфигурации камеры)

Рекомендации

Для точного подбора:

1. Укажите модель установки TEL и тип камеры (например, SCCM, CCP, ICP).
2. Предоставьте фото/чертёж детали или выписку из BOM.
3. Уточните условие процесса (CF₄, Cl₂, HBr и т. д.) — от этого зависит выбор материала.

Если пришлёте фото или название установки, подготовлю уточнённую спецификацию с реальными габаритами, материалом и актуальным списком совместимых парт-номеров.