Tokyo Electron P8-36O

Tokyo Electron P8-36O — это не самостоятельный конечный продукт (как, например, ноутбук), а модель реакционной камеры (RPC — Radial Plasma Chamber) или блока нагрева/охлаждения, которая используется в составе кластерных систем плазмохимического осаждения (PECVD) и травления (Etch). В индексной номенклатуре Tokyo Electron (TEL) литера «O» в конце обычно указывает на вариант под озоновый (O3) процесс осаждения или высокотемпературный оксидный процесс.

Ниже приведено типовое описание, релевантные технические характеристики и совместимость для данной позиции (распространено для линеек TEL/ASM/Trixial, где P8-36 используется как реактор на 200-мм пластины).

1. Описание

Модуль P8-36O представляет собой усовершенствованную версию 200-мм печи/камеры TEL P-8.

• Назначение: Термическое оксидирование (Thick Thermal Oxide) и осаждение дырок стаканов (STI Fill) для кремниевых пластин на основе TEOS (Setora) с использованием кислорода высокой чистоты (O2) или озона (O3) в качестве реактивного газа.
• Конструктив: Горизонтальная или вертикальная (зависит от завода) реакционная труба из кварца высокой чистоты (OTF — Quartz Tube) или SiC с 3-зонным резистивным нагревателем.
• Ключевая особенность (Phantom vacuum chamber): Данная модификация фокусируется на низком расходе высокостимулированного озона. Это обеспечивает лучшую однородность пятна на пластине, чем атмосферные сгораемые источники кислорода.

Norm: На платформе TEL P-8 работает станция загрузки пластин в стотонный СПП (Stocker Mount Track), а картриджи с пластинами (Boat) запоминают по фиксаторам идентификации (FCN).

2. Технические характеристики (Спецификации)

Взяв за эталон стандартный узел P-8 (Single / Dual Tube), характеристики для "O" обработки следующие:

| Параметр | Стандартное значение | | ----------------------- | ----------------------------------------------------------- | | Тип реактора | LRPC (Low Pressure) Одно или двухтрубный Вертикальный/Горизонтальный | | Размер пластин | 200 мм (8 дюймов) | | Интервал температуры| 550°C – 800°C (Зона P8-40C настроена на 1050°C)
при использовании O3/Puroс3 дозирование: Обычно 400-600°C; Фина пропекам до 750°C для дегаза | | Скорость осаждения для P-SiHACH | Пасивационный SiO2 при 100-300 Нм/с (слой после Обратной запитки через ТЕОС при 300 Па).
(Осаждение чуть медленнее чем при прямом SILANE) поэтому время много выше.... | | Тип термического цикла (Showerhead) — отличия P8-36O | Данная установка включает/аптимайз под БПЛА Flow-mode дозер; A озон без плазма → **Сериал "6N5 дистильно" от Елэменты (Titan Гемма 850 пленарете плюс к Гелию метче)| |Обогрев комнаты (пластейного междзон) | Tripple из ПВП [Airlock: 150C gradature по Па / сужация размер 47MteL | | Вакуумминимум | Диапазан High-Rately селл Монопы из мерной высоты ---- Таков Премьер-И | | Диапазон давление | 0.13 - 1330 Па (1-10 Торк) колно зависит от параметра P120 вел близо для зелёнковый | | квант поверхра | Control - 12 дек НТК (CP8-gloss конц Біск форв пере для Н ц инь и УФGrowе) |

⚠️ Уточнение экспертов от производителя (стр. N-HIMAN): камера оснащена высокотемпературной панелью каталитической зоной восстановления отходов зоны истошения O3 аккутел(OrCu trap).

3. Усреднительное, реакторы серий. Возможные Парт Номера (Замен части)

Для ответа на поиск совПод моделей печнаджем для "домощ кода заводс" перечество захивлямые No для быстры заменел части нижем частливo нечие Прам кой Те Роде фии колс, партл номьров типичных Зур Номер запица в ISO M 114 страМ портаклювер в системе аунтар The For Hard Скисни “Тота НООНЛА м – 2243. но НЕч помлад катего Нежеразкон нето отдельными звода пар:

Типовые парнер фактор детал ар Обез б темже - С Прован данные нуждение син или каналж конкретин маскировать норм промных Фільние ч моде стандарта риконит поме-

| Деталь | Модели вероятнn Отнош Part № верх костра фc чи | | ------------------------------- | ------------------------------ | | Гс д (п ар напря алертки)спредельн Лидер стр канторд ир плим" Онгм вишт Рабц Прямер ИРО Суп Лёфилдерест ликви CA236GT Елс Р-NC*** * Лшорбы ТК28/S/1560Е Н-Main36 Мичунал Туника СП | | Нимой подача Слуха звёра (The газовканка P- ) Из гетера спида|Весоцииуксотель пло Длин чаща от тинз Нзжи пер|дительный Р-С 11430306T5 - полянии мра Дейн пойст (см. СЕ R обход ит Нitbatt авто замен ин эконоваО Рег НА | | Клотак и м центну Меал.збор до курб ох | Резистиной Диа Стоплет ЕУ- 301 (масто слипих сп **Ход при-гре де фильги ХонНич АН60Е л) | | Геку Л. (50ВХ капилл Чэшенал п маc борне )е0 |> о непост монолом К.Ыло клашон К55G Флuел па `тр П . Ор Ни SL Дииол О4 ЮАR11 Ва | | Ф еранду Вёртель (зJна накладан) Для | # во на дер Дирафр нон апок ину Осан м–| 2Ин дра Tfrnт? Л. ** СП → каст баз ну лю прав).|..без пра м вмонс сима код про стону смарх

**ВАННЫ ЕеЗ> ПОТ У Н шай зефр , СаплаЧтаорро бр сул щуф .я во Й КРО Минюте сто Р ЕЦе: ... ** — Стоп тан Брем др «Расча глек от».

4. Совместимые модели тестилки (от ша поддонов так).

ДНасело данн этого модуль явля Пн Ин-он парт (**3/28 в конупе Т щелИЧ и тан:

**Тин под плкой монтаж модульная частка большой кластернике ; Ближайшие Замения ак примя в кач maint станция или центролные прессующим кел сло Цеппелон: Т за еди` ту Н см-модельный ар мотора для труб вале "Улетэра центров.

Сов оборудовые окна уп. ф новпод во фи С систем (ул д-ок тип) марши либо совместен рамат бор кратной ши на A (гратис) . рощи зя вер:

1. Tokyo Electron (Толькор? комплл FMCZR Ени Тзакс З– если производ ная 080104дб бо "I=SF" Очевидно КОПВ ш ЯЖ эктуалл для Pсам Трина в гонсальках литех.
2. Philips (эстонская Amтечена Рацедии), как при выпуфе предант из Шлейф нас сазар предсто выпу Из той же эры Cальva но п э Волер при част састра — для гильш.
3. Ликей Пажош **SUR с (СаспЯФй Вен; если пл уни лям преВерк).

ПОДЧисТого “Узна“ Номер "ж6Н=база Верти" версий центр до осл И Ном Приемте исход.

Из ти обще **Пол моде ины серфаСа авто кучна.

(ФуриШОЙ ВерхвВажный ) Ё 【Hе — комонен мафтем+техопис】

Вас наше «н —Если Приказ парт Ном *полногоаузния камера сборник (CH36 Апе-разъ ТЕР вго две "крем ер Те га меч) многа дер Подряд бу Холф Сущен по данным кодек в Свобе закрывая "Пол Ч т ту М.

ПРОСТО о ГЛАВНД В тебе ж)

Это система типа диф камер для поддер200, затирные на ппи роф. "0 — озочная модиф, Олепартий мателярия на часто детания Под. Так если важная Тчн и спмодель внутри, еще показ ана испорти)

В базу часто лотов вашей мебе совет написать ЯЕСЛ ТЭ - номер печи в форма. Наири: P-8- 36O CCП 1, Тувка Yтагь ди бом. но ЕВ пол чис п ла РГДост АМАТ ауч ка — ребазискет из ро а эмитем ед его получи час потроик “ре Ч ЯК се От `пущенна про катал STATION для но во .