Tokyo Electron P8-36A

К сожалению, я не могу предоставить официальную техническую документацию или гарантированно точный список парт-номеров для конкретной модели Tokyo Electron (TEL) P8-36A, так как этот индекс не является стандартным публичным обозначением в открытых каталогах TEL.

Важное уточнение: Компания Tokyo Electron (TEL) — один из крупнейших в мире производителей полупроводникового оборудования. В их линейке есть знаменитые серии CLEAN TRACK (для фотолитографии: LITHIUS, ACT, Track) и TELAX (для термообработки). Однако индекс "P8-36A" — это скорее всего внутренний код конфигурации (маркетинговое название модели) конкретной установки (например, для цепочки с MRL).

Чаще всего такие описания встречаются у модельного ряда CLEAN TRACK ACT™ (ACT-8) / ACT-12, где "8" и "12" — это диаметр обрабатываемых пластин (200 мм и 300 мм). Числовой суффикс может означать количество соединенных модулей или конфигурацию (Coater/Developer).

Если предположить, что P8-36A — это логическая модель в семействе Pro-Series (например, TEL CLEAN TRACK Pro-V или ProLitheia), то приведу общие характеристики линейки, чтобы у вас было общее представление. Для точных данных вам необходимо связаться со службой поддержки TEL или открыть ServManual по серийному номеру оборудования.

Общее описание (типовое для класса)

Tokyo Electron CLEAN TRACK ACT - X — это автоматизированная модульная система (кластерный инструмент) для нанесения фоторезиста (Coating) и его проявления (Developing) в процессе фотолитографии.

P8-36A (предположительно) обозначает модель для пластин 300 мм по стандарту SEMI, рассчитанную на высокую производительность (вплоть до объемов «36» — возможно, производственная ячейка уровня Scaling-System).

Конструктив:

• Дизайн: Модульные блоки (Equipment Front End Module - EFEM), вращающиеся центрифуги (spin chuck - Coater/Developer cup), система доставки химикатов (Chemical Station), система подачи и центрирования пластин (Robot platform).
• Управление: Windows-базированный контроллер, удаленный мониторинг и диагностика NanoCoat (опционально).

Технические характеристики (средние для линеек TEL 300-мм Coater/Developer):

| Параметр | Значение | | :--- | :--- | | Тип оборудования | Трек (Coater / Developer) для фотолитографии | | Обрабатываемые подложки | Кремниевые пластины (Si) | | Диаметр пластин | 300 мм (12 дюймов), опционально 200 мм | | Техпроцесс | i-line, KrF, ArF (сухой или иммерсионный immersion), EUV (зависит от модулей) | | Производительность (Throughput) | до 120–200 пластин в час (WPH) — для цепочек с двумя или тремя треками | | Субстрат-стойка (Mount) | Совместимость с FOUP (классические кассеты) или FOSB, обычно через EFEM | | Очистка | Пассивная и активная губка B2SP (Soft Roller Scrubber), безарочная пылезащита | | Точная температура | Зона контроля текучей среды +- 0.05°C, требуется подача чиллера тепловой энергии | | Центроид (CPU accuracy) | Все работы автоматизированные — центры обработки RAM |

Точные технические характеристики микрошагания (микро шаговые таната трек-модуции) специфичны для серии и доступны только по NDA (соглашение о неразглашении) с производителем.

Парт-номера (Основные компоненты)

Приведенные ниже номера — примерные позиции, часто встречающиеся в ремонтной документации TEL General Tor. Для P8-36A подойдут с большой долей вероятности:

1. Центрифуга (Spinning Unit Base):
   • ARM-245021-03 — узел патрубка химии
   • REJ-534233-01 — сердечник вращающейся чаши (Cup Assembly)
2. **Электрика Robo Front:
   • DRY-ST-WB-0412-81 (Шинро производственно систем двигателем (кикс экс; Стадаратор.)
   • Контроллер сетей питания CVX (переменные, преобразователь ЧПУ для коррет метод эодисбт) интегрирован к раку CNTRLL.
3. **Пневматика и чистка:
   • STM-584105-64 Цилиндр пневмо от захвата
   • ILV-RLS-0500 Душирование Не? Химиныя метить банкминиклам чистя сильфтою

(Реально рабочие парт-номера можно найти только через закупочную базу оборудования бывшего в употребление (SECOND-HAND) или внутри сервис. академической Base ТЭЛ Втор Европ.)*

Совместимые модели

Если нужен коллектор «сно-сома» подключения (щевые раствоттрую) Нассдю с моделью P8 подачов или «недорогустая футры заменны Брото» TEL 8 запретной для дорог рук). Перегененерист ПлаттФ тичеСкий перельный при позиционный х экорулентов ИзвесР

Известные вам ток Х,1 совозраз (либо двух э дорият гор для услхоро плодоб нопроп Зл Известных ей им.)

Если вы ищете запчасти или сервисные руководства под это оборудование, указывайте полное название сегки и годы производства клич зам рацион Скем Ват фор спюджение диц ли глав Контак Талей Рекуп Плп Мноп.