Tokyo Electron NE-363C-7-7

Описание

Tokyo Electron NE-363C-7-7 — это компонент/запасная часть (парт) для оборудования плазмохимического осаждения (PECVD) и травления производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для полупроводниковой промышленности (Япония).

Данный артикул относится к категории кварцевых/керамических деталей или узлов газораспределения/электродов, применяемых в реакторах установок серии NE (например, NE-5000, NE-8500, NE-8800 и родственных платформах). Точное функциональное назначение зависит от конкретной конфигурации камеры, но обычно это:

• элементы крепления и изоляции электродов;
• кварцевые кольца/втулки;
• детали системы подачи газа (gas injection);
• компоненты, подвергающиеся плазменному воздействию (расходники).

Такие парты относятся к consumable parts — их меняют по регламенту ТО (обычно каждые 200–500 RF-часов в зависимости от процесса).

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (TEL) | | Артикул (Part No.) | NE-363C-7-7 | | Тип оборудования | PECVD / Plasma Etch / Ashing | | Материал | Кварц (SiO₂) / керамика Al₂O₃ (уточняется по каталогу) | | Рабочая температура | до 600–800 °C | | Совместимость с плазмой | O₂, CF₄, CHF₃, Ar, N₂ | | Класс чистоты | Semiconductor grade | | Страна производства | Япония | | Упаковка | Cleanroom (класс 100/1000) |

⚠️ Точные значения температуры, размеров (Ø, толщина) и материала зависят от ревизии. Для точных данных запрашивайте TEL Parts Catalog или обращайтесь к дистрибьютору.

Парт-номера (возможные аналоги и ревизии)

Часто для таких компонентов существует несколько взаимозаменяемых номеров:

• NE-363C-7-7 (основной)
• NE-363C-7 (базовая ревизия)
• NE-363C-7-7-A / -B / -C (ревизии)
• 363C-7-7
• Внутренний TEL код: обычно вида 20-XXXXXX-XX

В случае заказа указывайте полный номер + ревизию, иначе можно получить несовместимую деталь.

Совместимые модели (вероятные)

Парты с индексом NE-363 применяются в установках TEL серии NE. Наиболее вероятные платформы:

• TEL NE-5000 (PECVD)
• TEL NE-5500
• TEL NE-7000 / NE-8000
• TEL NE-8500 / NE-8800
• TEL Unity / Unity II / Unity IIe (в части конфигураций с маркировкой NE)
• TEL Telius / Tactras (аналогичные chamber kits — требуют подтверждения)

⚠️ Точный список совместимости лучше уточнять у TEL или у авторизованных поставщиков запчастей (например: MKS, Ajinomoto Fine-Techno, Conax, Pretech, Q-Glass, Ferrotec, Zavac — как производители аналогов).

Рекомендации по закупке

1. Запрашивайте у продавца datasheet + фото + сертификат происхождения (CoO).
2. Проверяйте ревизию (суффикс), т.к. незначительные изменения могут влиять на посадку.
3. Для критичных процессов берите OEM new или refurbished с гарантией.
4. Альтернативные производители: Heraeus, Momentive, CoorsTek, Kyocera, Ferrotec — аналогичный кварц/керамика.

Если у вас есть фото детали или скажите, для какой установки TEL она нужна (например NE-8800), — смогу уточнить назначение и точный список совместимости.