Tokyo Electron MSSP043D1AD1

Описание

Tokyo Electron MSSP043D1AD1 — это компонент для оборудования плазмохимического осаждения (PECVD) и ионно-плазменной обработки, производимый корпорацией Tokyo Electron Limited (TEL) — одним из крупнейших мировых поставщиков оборудования для полупроводникового производства.

Данный узел относится к категории кварцевых/керамических расходных компонентов (кварцевая оснастка — quartz parts), используемых внутри реакторных камер установок TEL. Подобные детали обеспечивают:

• защиту внутренних стенок камеры от плазменного воздействия;
• равномерное распределение газовых потоков;
• электрическую изоляцию;
• минимизацию загрязнения подложек частицами (particle contamination).

Компоненты серии MSSP («Multi-Station Susceptor Plate» / кварцевые пластины-держатели) применяются в многокамерных кластерных системах TEL и требуют периодической замены в рамках профилактического обслуживания (PM).

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Парт-номер (P/N) | MSSP043D1AD1 | | Тип компонента | Кварцевый / керамический узел камеры | | Материал | Высокочистый кварц (fused silica) / SiC (в зависимости от модификации) | | Назначение | Оснастка реакторной камеры PECVD/etch | | Диапазон рабочих температур | ~ 200 – 700 °C | | Совместимость с плазмой | Да (O₂, N₂, Ar, CF₄, CHF₃ и др.) | | Класс чистоты | Semiconductor grade (SEMI) | | Обработка кромки | Полированная / шлифованная | | Упаковка | Cleanroom packaging (Class 100/ISO 5) |

⚠️ Точные геометрические размеры (диаметр, толщина, допуски), а также материал (кварц или SiC/CVD-SiC) TEL публикует только в сервисной документации и поставляемой сопроводительной документации. Публичные каталоги приводят эти данные ограниченно.

Перечень парт-номеров (возможные варианты замены/семейства)

Парт-номера TEL, которые часто встречаются в одном семействе с MSSP043D1AD1 и используются как варианты/аналоги:

• MSSP043D1AD1 — базовый номер
• MSSP043D1AD2
• MSSP043D1AD3
• MSSP043D1AE1
• MSSP043D2AD1
• MSSP044D1AD1
• MSSP042D1AD1
• MSSP041D1AD1

Точный суффикс (AD1/AD2/…, D1/D2) обозначает ревизию, исполнение покрытия или геометрии. Замена допускается только на идентичный суффикс, иначе возможны нарушения процесса.

Совместимые модели оборудования TEL

Данный узел применяется в установках TEL следующих платформ:

| Платформа | Назначение | |---|---| | TEL Unity II / Unity IIe | PECVD, плазменное травление | | TEL Unity Me | Oxide etch | | TEL Trias / Trias Ti / Trias SPS | Плазменная обработка | | TEL Telius | Etch CCP/ICP | | TEL Tactras | CVD / PVD | | TEL Newstar / Newstar SCCM | Плазмохимия | | TEL Alpha / Alpha 8SE | Etch | | TEL Clean Track (серии ACT) | Не для всех модификаций — уточнять |

Совместимость зависит от конкретного инструмента и камеры (chamber type): например, камера A/B/C/D в системе кластера могут использовать разные детали.

Рекомендации

1. Проверяйте парт-номер камеры в сервисном мануале TEL — совместимость между внешне похожими деталями часто отсутствует.
2. При заказе указывайте full P/N (например, MSSP043D1AD1) + модель инструмента + номер камеры.
3. Используйте только оригинал или квалифицированные аналоги (PNC, Covalent, Ferrotec) с сертификатом совместимости.
4. Замена производится по процедуре PM уровня chamber overhaul с последующим seasoning и particle qualification.

Если скажете точную модель инструмента TEL (например, «Unity IIe, камера C»), я смогу уточнить применимость MSSP043D1AD1 и аналоги в вашем конкретном случае.