Tokyo Electron MB3S10-400080-14

Описание

Tokyo Electron MB3S10-400080-14 — это оригинальный компонент (запасная часть) для оборудования плазменной обработки (плазмохимического травления / PECVD) производства компании Tokyo Electron (TEL). Парт-номер относится к категории механических/расходных компонентов камеры (обычно — элемент газораспределения, крепёж, уплотнение или деталь оснастки пластины), поставляемый как OEM-запчасть для обслуживания и ремонта установок TEL.

⚠️ Точное функциональное назначение детали по данному парт-номеру зависит от конкретной конфигурации инструмента. Рекомендуется сверять по сервис-мануалу установки или запрашивать у TEL/дистрибьютора.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | MB3S10-400080-14 | | Тип | OEM-запасная часть / расходный компонент | | Категория оборудования | Плазменное травление / PECVD / CVD | | Материал | Зависит от назначения (нерж. сталь, керамика, Al₂O₃, эластомер) — уточняется | | Совместимость | Установки TEL серии CVD/Etch (уточняется по мануалу) | | Условия эксплуатации | Вакуум, агрессивная плазма, температура до ~200 °C (типично) | | Страна производства | Япония |

Парт-номера (кросс-референс)

• MB3S10-400080-14 — основной парт-номер
• Возможные варианты написания: MB3S10 400080 14, MB3S10-400080-14-00
• Кросс-номера других поставщиков уточняются у дистрибьютора TEL; прямых публичных аналогов нет (OEM-деталь)

Совместимые модели

Деталь применяется в установках Tokyo Electron серий:

• CVD / PECVD: серии Mark, TELFORMULA, Trias
• Etch (плазменное травление): Tactras, Telius, UNITY
• Платформы с камерами обработки 200/300 мм соответствующих поколений

⚠️ Важно: конкретная совместимость с моделью и узлом должна подтверждаться по сервисной документации TEL или у авторизованного поставщика. Неверная установка несовместимой детали может привести к повреждению камеры.

Хотите, чтобы я оформил это как карточку товара для каталога (с кратким и расширенным описанием, SEO-текстом) или помог составить запрос в TEL для точного подтверждения спецификации?