Tokyo Electron KR2602AE

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Tokyo Electron KR2602AE.

Общее описание

Tokyo Electron KR2602AE — это плазменный асимметричный ионный etcher (травление) из серии Tactras. Это высокопроизводительная система для плазменного травления кремния, разработанная для производств памяти (DRAM, 3D NAND) и передних этапов обработки кристаллов (FEOL) в производстве логических микросхем.

Ключевое назначение: Глубокое и высокоаспектное травление кремния (High Aspect Ratio Silicon Etching) с использованием процесса Bosch (пассивация/травление) или непрерывного травления. Основные применения:

• Травление глубоких канавок (deep trenches) для конденсаторов DRAM.
• Травление контактов (contact holes) и сквозных кремниевых отверстий (TSV - Through-Silicon Via).
• Травление структур в процессах изготовления 3D NAND Flash-памяти.

Основные преимущества:

• Высокая производительность: Большая загрузочная способность (часто 2 пластины диаметром 300 мм).
• Превосходный профиль: Возможность получения почти вертикальных стенок с высокой аспектностью (> 40:1) и минимальным травлением под маской (bowling).
• Высокая селективность: Отличная селективность травления кремния относительно маски (например, фоторезиста или оксида).
• Надежность и стабильность: Промышленный дизайн для массового производства с высоким временем наработки на отказ (MTBF).

Технические характеристики (ТТХ)

Характеристики являются типовыми и могут варьироваться в зависимости от конфигурации и рецепта.

| Параметр | Характеристика | | :--- | :--- | | Тип системы | Плазменный асимметричный ионный etcher (камерный тип, CCP - Capacitively Coupled Plasma) | | Конфигурация | Многокамерный кластерный модуль (обычно входит в состав системы Tactras с общим контроллером и интерфейсом) | | Размер подложки | 300 мм (стандартно) | | Загрузочная способность | Чаще всего 2 пластины на камеру (Dual Station) | | Источник плазмы | Радиочастотный (RF), нижний электрод, частота 13.56 МГц или комбинация частот (возможна дополнительная высокочастотная bias-система для отдельного управления энергией ионов) | | Вакуумная система | Турбомолекулярный насос высокого вакуума, клапаны с пневмоприводом, система скребкового типа для откачки побочных продуктов травления. | | Система подачи газа | Многоканальная система (MFC - Mass Flow Controller) для точной подачи различных газов: SF₆, C₄F₈, O₂, Ar, N₂, CF₄, CH₂F₂ и др. | | Контроль процесса | Конечная точка (End Point Detection - EPD) с помощью оптической эмиссионной спектроскопии (OES) или лазерной интерферометрии. | | Программное обеспечение | Проприетарное ПО TEL для рецептов, контроля и диагностики. | | Интерфейс | Стандартные интерфейсы для интеграции в заводскую систему автоматизации (SECS/GEM). |

Парт-номера (Part Numbers) и расходные материалы (Consumables)

Важно: Конкретные парт-номера зависят от точной конфигурации и revision машины. Для заказа всегда необходимо уточнять серийный номер установки.

1. Ключевые сменные узлы (Chamber Parts / Consumables):

• Верхний электрод (Upper Electrode / Showerhead): Изготавливается из кремния, карбида кремния или покрытого керамикой алюминия. Часто имеет номер вроде KR2602AE-UE-001 (пример).
• Нижний электрод (Lower Electrode / ESC - Electrostatic Chuck): Керамическая пластина с нагревательными элементами и зонами охлаждения Хе. Номер вроде KR2602AE-ESC-01.
• Фокусирующее кольцо (Focus Ring): Обычно из кварца или кремния. Номер KR2602AE-FR-01.
• Защитная гильза / Вкладыш камеры (Chamber Liner / Shield Kit): Набор алюминиевых или покрытых анодированием/керамикой деталей, защищающих стенки камеры. Комплект KR2602AE-SHK-01.
• Окно для наблюдения (Viewport Window): Кварцевое, с защитным покрытием. KR2602AE-VW-01.

2. Критические компоненты:

• RF-генератор и матчер: Производства компании如 MKS или Advanced Energy. Парт-номера специфичны для TEL (например, G-12345-TEL).
• Модуль ESC и контроллер дешандинга: ESC-PWR-UNIT-01.
• Турбомолекулярный насос (TMP): Например, от Ebara или Edwards. TMP-2602-01.
• Масс-расходные контроллеры (MFC): От Horiba или аналоги. Номера специфичны для газа и диапазона.

3. Программное обеспечение и лицензии:

• Версии ПО: Tactras SW Suite vX.X
• Лицензия на рецепты с высокой аспектностью: HAR-OPTION-01.

Совместимые модели

KR2602AE является частью большого семейства etcher'ов TEL. Совместимость может быть на нескольких уровнях:

1. Прямые аналоги и модели из того же семейства (взаимозаменяемость деталей и ПО):

• KR2602A / KR2602A2: Более ранние или модифицированные версии. Многие расходники (кольца, вкладыши) могут быть совместимы.
• KR2602BE / KR2602CE: Последующие модификации с улучшенными характеристиками (например, более высокая скорость, лучшая однородность). Часто имеет обратную совместимость по некоторым расходникам.
• Другие модели серии Tactras для травления кремния: Например, KR2601A (для других применений или меньшей производительности).

2. Совместимые системы в технологической линии (используют аналогичные процессы):

• TEL Trias™: Система для травления диэлектриков (SiO₂, SiN). Часто используется в паре с KR2602AE для комбинированных процессов.
• TEL Unity™: Платформа для иммерсионной литографии. KR2602AE может выполнять последующее травление структур, сформированных на Unity.
• Системы TEL для очистки и стриппинга (например, на платформе Tactras): Используются для удаления маски после глубокого травления.

3. Системы-конкуренты (функциональная совместимость по процессу):

• Lam Research 2300® Kiyo® или Syndion®: Системы для глубокого травления кремния.
• Applied Materials Centris® или Avatar®: Системы для высокоаспектного травления.

Важное примечание: Для точного определения совместимости деталей, ПО или технологических рецептов необходимо обращаться к официальной документации Tokyo Electron (TEL) или связываться с инженерами службы поддержки клиентов (Customer Engineering). Информация на рынке б/у оборудования (used) также может содержать конкретные данные о совместимости между ревизиями.