Tokyo Electron HFA-50A

Описание

Tokyo Electron HFA-50A — это промышленный масс-расходомер (Mass Flow Controller, MFC) производства японской компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из мировых лидеров в области оборудования для полупроводникового производства.

Устройство предназначено для высокоточного измерения и регулирования расхода газов в технологических процессах производства полупроводниковых пластин. Применяется в установках CVD, PVD, etching, diffusion и других процессах, где требуется прецизионный контроль газовых потоков.

Ключевые особенности:

• Высокая точность и воспроизводимость измерений
• Быстрый отклик и стабильность работы
• Совместимость с агрессивными и специальными газами
• Интеграция в системы управления TEL и сторонних производителей
• Компактный корпус, рассчитанный на монтаж в газовых панелях (gas box)

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Тип | Mass Flow Controller (MFC) / термический | | Диапазон расхода | зависит от калибровки (обычно от 1 sccm до 10 000 sccm) | | Точность | ±1% от полной шкалы (F.S.) | | Воспроизводимость | ±0.5% F.S. | | Линейность | ±1% F.S. | | Время отклика | ≤ 1–2 сек (в зависимости от модели) | | Рабочее давление | 0.1 – 0.7 МПа (типовое) | | Дифференциальное давление | 0.05 – 0.3 МПа | | Напряжение питания | ±15 VDC / +24 VDC (в зависимости от версии) | | Выходной сигнал | 0–5 V, 0–10 V или 4–20 мА | | Управляющий сигнал | 0–5 V, 0–10 V или 4–20 мА | | Диапазон рабочих температур | 0…+50 °C | | Присоединение | VCR 1/4", SWAGELOK, металлическое уплотнение | | Материал корпуса | Нержавеющая сталь SUS316L | | Класс защиты | IP40 – IP65 (в зависимости от исполнения) | | Сертификация | CE, RoHS |

⚠️ Важно: точные характеристики зависят от конкретной конфигурации (тип газа, диапазон, разъём, выходной сигнал). Для получения точных данных рекомендуется запрашивать спецификацию у TEL или дистрибьютора.

Парт-номера (Part Numbers)

Формат парт-номеров Tokyo Electron обычно выглядит как:

HFA-50A-XXXXX-XX

Типичные варианты (примеры, требуется уточнение у поставщика):

| Парт-номер | Расход | Газ | |---|---|---| | HFA-50A-100SCCM-N2 | 100 sccm | N₂ | | HFA-50A-500SCCM-N2 | 500 sccm | N₂ | | HFA-50A-1SLM-N2 | 1 slm | N₂ | | HFA-50A-5SLM-Ar | 5 slm | Ar | | HFA-50A-10SLM-N2 | 10 slm | N₂ | | HFA-50A-200SCCM-O2 | 200 sccm | O₂ | | HFA-50A-1SLM-CF4 | 1 slm | CF₄ | | HFA-50A-500SCCM-Cl2 | 500 sccm | Cl₂ |

📌 Парт-номера HFA-50A имеют множество модификаций в зависимости от газа, диапазона, типа фитингов и электрического интерфейса. Точный номер определяется при заказе.

Совместимые модели и системы

MFC серии HFA-50A разработаны для интеграции в:

Оборудование Tokyo Electron:

• CVD системы: серии Telus, Alpha, Trias
• Etch системы: серии Tactras, Telius
• Diffusion / Oxidation: серии Alpha, Vertical Furnace
• PVD/Coater/Developer: серии CLEAN TRACK (ACT, LITHIUS)
• Coater/Developer: CLEAN TRACK ACT 8, ACT 12, LITHIUS i+, LITHIUS Pro

Аналоги и замена:

• MKS Instruments: серия 146C, 1479, 247, 647
• Brooks Instrument: серия GF, SLA5850
• AERA / Quantar: серия FC-7700
• Horiba STEC: серия SEC-Z500, Z700
• Hitachi Metals / Lintec: серия FC

HFA-50A позиционируется как заменяемый модуль, совместимый по посадочным размерам и электрическим интерфейсам с вышеперечисленными MFC — при соответствующей конфигурации разъёмов и калибровки.

Применение

• Подача технологических газов (N₂, O₂, Ar, H₂, He)
• Подача реактивных газов (CF₄, C₄F₈, CHF₃, Cl₂, BCl₃, SF₆)
• Прекурсоры для CVD/ALD
• Purge и dilution газов
• Plasma etching и deposition процессы

Примечания

1. Все данные носят справочный характер — Tokyo Electron не публикует полные спецификации HFA-50A в открытом доступе.
2. Для получения точных парт-номеров, калибровочных таблиц и совместимости рекомендуется обращаться напрямую к:
   • Официальным дистрибьюторам TEL
   • Сервисным партнёрам на вторичном рынке (refurbished MFC)
3. При замене MFC критично учитывать:
   • Тип газа и его коэффициент пересчёта (gas conversion factor)
   • Диапазон расхода и давление
   • Тип электрического разъёма и протокол
   • Механические посадочные размеры

Если вы работаете с конкретной моделью оборудования TEL — укажите её, и я постараюсь дать более точную информацию по совместимости.