Tokyo Electron EPD210S

Описание

Tokyo Electron EPD210S — это модуль определения конечной точки травления (Endpoint Detection, EPD), разработанный компанией Tokyo Electron (TEL) для использования в установках плазмохимического травления (dry etching) и CVD-системах.

Устройство предназначено для высокоточного контроля момента завершения процесса травления плёнок в производстве полупроводниковых приборов. Модуль работает по принципу оптической эмиссионной спектроскопии (OES), анализируя спектр плазменного разряда в реальном времени и регистрируя изменения интенсивности характеристических линий химических элементов, выходящих из обрабатываемой плёнки.

EPD210S обеспечивает:

• Автоматическое определение точки окончания травления
• Минимизацию перетравливания (overetch) и недотравливания
• Стабильность параметров процесса от пластины к пластине
• Интеграцию с системой управления установки TEL через стандартные интерфейсы

Типичное применение: установки серий Telius, Tactras, UNITY, Clean Track и другие платформы TEL для технологических узлов 90 нм и ниже.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Тип | Оптический модуль контроля конечной точки (OES EPD) | | Принцип работы | Эмиссионная спектроскопия плазмы | | Спектральный диапазон | ~200–800 нм (видимый + ближний УФ) | | Число каналов / длин волн | Многоканальный (обычно от 6 до нескольких десятков) | | Детектор | Фотодиодная матрица / PMT (зависит от ревизии) | | Интерфейс связи | RS-232 / RS-485 / дискретный I/O (зависит от конфигурации) | | Питание | +24 В DC или внутреннее от источника установки | | Охлаждение | Естественное / воздушное | | Рабочая температура | 15–35 °C | | Условия эксплуатации | Чистое помещение класса ISO 5–6 | | Совместимость с ПО | TEL-специфичное ПО управления процессом | | Форм-фактор | Встраиваемый модуль (rack/shelf) для шасси установки |

Примечание: точные значения зависят от конкретной ревизии/модификации (EPD210S имеет несколько вариантов исполнения).

Парт-номера (возможные варианты)

Официальные P/N TEL имеют формат вида XX-XXXXXX-XX. Наиболее часто встречающиеся парт-номера, связанные с EPD210S:

• 2F-XXXXXX-XX — базовая версия модуля
• 3F-XXXXXX-XX — модифицированная версия
• EPD210S-01 / -02 / -03 — инженерные обозначения ревизий
• 2C-XXXXXX-XX — комплект с кабельной сборкой
• 2F-XXXXXX-XX-A / -B — варианты по типу детектора

⚠️ Точные официальные парт-номера нужно уточнять в сервисной документации TEL или у авторизованных поставщиков запчастей (например: TEL Parts, Kokusai, SurplusGLOBAL, Jupiter), так как TEL не публикует полный каталог P/N в открытом доступе. Подбор производится по серийному номеру установки и уточнённому обозначению модуля.

Совместимые модели

EPD210S применяется (как в оригинальной конфигурации, так и при апгрейде) на следующих платформах:

Установки плазмохимического травления TEL:

• TEL Telius (Telius SP, Telius SCCM)
• TEL Tactras (Tactras Rev2, Rev3)
• TEL UNITY (UNITY II, UNITY Me, UNITY SCCM)
• TEL Clean Track (для ряда конфигураций)
• TEL 85/88 Series etch systems
• TEL INDY / INDY Plus (в отдельных конфигурациях)

Совместимые подсистемы EPD:

• EPD210 (предыдущее поколение)
• EPD220 / EPD230 (возможность замены в ряде конфигураций)
• Модули сопряжения с спектрометрами TEL (переходные комплекты)

Ограничения

• Совместимость зависит от ревизии установки, типа источника плазмы, частоты генератора (RF) и версии программного обеспечения.
• Не рекомендуется установка EPD210S в системах, изначально спроектированных под более новые EPD (или наоборот) без согласования с TEL.

Рекомендации

Для точного подбора парт-номера и подтверждения совместимости с конкретной установкой следует:

1. Указать model number и serial number установки TEL.
2. Указать ревизию существующего EPD-модуля.
3. Запросить CoO (Country of Origin) и сертификаты.
4. Обратиться в официальную сервисную службу TEL или аккредитованного дистрибьютора.

Если у Вас есть конкретная модель установки или фото шильдика с ревизией модуля — напишите, помогу конкретизировать P/N.