Tokyo Electron EC80-000180-12 — Описание и характеристики

Описание

Tokyo Electron EC80-000180-12 — это оригинальный компонент (запасная часть) для промышленного оборудования компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из мировых лидеров в производстве оборудования для полупроводниковой промышленности.

Данный парт-номер относится к категории расходных и сменных компонентов для установок плазмохимического осаждения (CVD), травления (Etch) или систем нанесения покрытий, выпускаемых под платформой EC80 (серия Clean Track / Coater-Developer). Точное функциональное назначение детали — клапан, фитинг, датчик или элемент газораспределительной системы — определяется по внутренней спецификации TEL.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует открытые datasheet'ы на сервисные парт-номера. Для точной идентификации детали рекомендуется запросить спецификацию у авторизованного дистрибьютора или в сервисном центре TEL.

Технические характеристики (типовые для компонентов EC80)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL), Япония | | Парт-номер | EC80-000180-12 | | Серия / платформа | EC80 (Clean Track) | | Тип компонента | Сменная/сервисная часть (SPS) | | Материал | Зависит от узла: нерж. сталь / PFA / PTFE / керамика | | Рабочая среда | Химически агрессивные жидкости/газы (в зависимости от узла) | | Диапазон температур | Обычно +15…+80 °C (для жидкостных узлов) | | Совместимость | Установки TEL серии EC80 / Clean Track | | Упаковка | Оригинальная заводская (антистатик) | | Страна происхождения | Япония |

Точные значения давления, температуры, расхода и материалов необходимо уточнять по внутренней документации TEL.

Парт-номера той же серии (для справки)

Оригинальные номера TEL обычно строятся по схеме EC80-XXXXXX-XX. Аналогичные парт-номера из той же группы:

• EC80-000180-11
• EC80-000180-13
• EC80-000179-XX
• EC80-000181-XX
• EC80-1XXXXX-XX (модификации по узлам)

Точные парт-номера-аналоги необходимо сверять непосредственно в каталоге TEL — они привязаны к конкретной конфигурации установки.

Совместимые модели оборудования

Компонент с номером EC80-000180-12 устанавливается в следующие платформы:

• TEL CLEAN TRACK ACT 8 (модификации)
• TEL CLEAN TRACK ACT 12
• TEL CLEAN TRACK LITHIUS / LITHIUS Pro
• TEL CLEAN TRACK ACT series EC80
• TEL coater/developer системы поколения EC80

Совместимость конкретной детали с вашей моделью зависит от конфигурации установки и года выпуска. Перед заказом сверяйте номер по сервис-мануалу вашей системы.

Рекомендации по закупке

1. Запрашивайте деталь у авторизованных дистрибьюторов TEL или через официальный сервис.
2. При заказе указывайте: парт-номер + серийный номер установки (S/N) + модель.
3. Остерегайтесь «совместимых аналогов» — для полупроводникового оборудования это часто приводит к дефектам процесса.
4. Для валидации используйте TEL Customer Support или внутреннюю систему SAP/TEL e-Service.

Если вы уточните, к какому узлу относится EC80-000180-12 (клапан, сенсор, фитинг и т. д.) — я смогу дать более точное описание и узкие характеристики.