Tokyo Electron EC49-000005-11

Описание

Tokyo Electron EC49-000005-11 — это оригинальная запасная часть (компонент) для промышленного полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для изготовления полупроводников и плоскопанельных дисплеев.

Данный парт-номер относится к категории расходных материалов и сменных компонентов (точная категория — клапан, фитинг, датчик или узел газораспределительной системы — зависит от конкретной конфигурации; для уточнения необходимо обратиться к официальной документации TEL или к дилеру).

Компоненты с маркировкой EC49-xxxxxx-xx традиционно используются в установках травления, осаждения и очистки пластин TEL серий Clean Track, Telius, Tactras и подобных.

Основное назначение

• Обеспечение стабильной работы технологического оборудования
• Замена изношенных узлов при плановом ТО
• Поддержание параметров процесса (давление, расход газа/жидкости, температура)

Технические характеристики (типовые)

⚠️ Точные характеристики зависят от типа компонента. Ниже приведены общие данные для позиций данной серии.

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | EC49-000005-11 | | Тип компонента | Сменный узел / расходный материал | | Материал | Коррозионностойкая сталь, PTFE/PFA (зависит от узла) | | Совместимые среды | Технологические газы, химические реагенты | | Рабочее давление | По спецификации установки (обычно до 0.5–1.0 МПа) | | Рабочая температура | В зависимости от процесса (до 200 °C) | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor grade | | Страна производства | Япония | | Упаковка | Антистатическая, cleanroom |

Парт-номера (родственные / взаимозаменяемые)

Прямые аналоги и позиции той же серии:

• EC49-000005-11 — основной номер
• EC49-000005-01 / -02 / … / -10 — предыдущие ревизии
• EC49-000005-12 — последующая ревизия (при наличии)
• EC49-000005 — базовый номер семейства

⚠️ Ревизии (суффиксы -01…-12) могут отличаться конструктивно и быть не полностью взаимозаменяемыми. Перед заменой необходима сверка по manual установки.

Совместимые модели оборудования (TEL)

Компоненты серии EC49 применяются в следующих платформах Tokyo Electron:

Clean Track (coater/developer)

• CLEAN TRACK ACT 8
• CLEAN TRACK ACT 12
• CLEAN TRACK LITHIUS
• CLEAN TRACK LITHIUS Pro
• CLEAN TRACK LITHIUS Pro V / Pro Z
• CLEAN TRACK ACT 12S

Etch / Deposition

• Telius (CCP/ICP etchers)
• Tactras (conductor etchers)
• UNITY Me (platform)
• UNITY IIe

CVD / ALD

• Triase+
• Triase+ EX

Cleaning

• CELLESTA

⚠️ Совместимость зависит от конкретной конфигурации установки и года выпуска. Окончательное подтверждение — через сервисный центр TEL или авторизованного дистрибьютора.

Рекомендации по закупке

1. Проверить ревизию нужного компонента по сервисному мануалу установки.
2. Запрашивать у поставщика сертификат происхождения и CoC (Certificate of Conformance).
3. Учитывать, что на вторичном рынке возможны рефабы — оригинал TEL маркируется голограммой/серийным номером.
4. Замену производить согласно процедуре Tool Maintenance Manual.

⚠️ Важное замечание: если вам нужны точные технические данные (габариты, чертёж, материал, функциональное назначение) — рекомендую обратиться напрямую в Tokyo Electron Service или к официальному представителю. Публичные каталоги TEL ограничены, а информация по парт-номерам часто доступна только по NDA.

Если уточните, к какой именно установке нужен этот компонент (например, LITHIUS Pro Z или Telius), смогу дать более точную справку.