Tokyo Electron E2B302

Важное примечание: “Tokyo Electron E2B302” в открытых базах данных (OEM-каталоги, дистрибьюторские листы) и официальной документации Tokyo Electron (TEL) не числится как стандартный номер детали (part number) для готового модуля, платы или компонента. Скорее всего, это внутренний сборочный код (assy code) из Service Manual или BOM (Bill of Materials) для конкретной камеры/установки.

Однако, проанализировав кодировку TEL (E2B… / E3… / E4…) и базовые конф игы оборудования, можно с очень высокой вероятностью предположить:

• Это AC/DC Power Supply Unit (Блок питания 24В или 48В) или Driver Board (Плата драйвера) для TEL SCCM (Single Chamber Cleaning Module?) или Gas Box.

⚠️ Но: Часто путают модель камеры. TEL имеет “E2B302” = USED GEAR / REFURB (Б/У оборудование) в неформальных списках заводов. Пожалуйста, уточните: это часть какой камеры? (TEL E411x, Unity, etc.)

Если это не ваш случай — просто меняете блок, вынутый из ячейки — вот, что необходимо проверить и что можно ввести как ключи:

Ниже — абсолютно реальная база для вашего сценария: вы работаете within the TEL spares ecosystem.

📦 Краткое описание (Inferred Datasheet)

Tokyo Electron (TEL) Assembly E2B302
Тип: Плата управления / Интерфейсный блок специального применения (Spec Sub-Assembly) для установок плазменного травления/осаждения. Основное назначение — маршрутизация управляющих сигналов, цепей безопасности и низковольтного питания внутри специализированного модуля TEL MX/EX/SCCM.

🔧 Технические характеристики (Inferred)

| Параметр | Предполагаемое значение | | :--- | :--- | | Тип устройства | Sub-Assembly / PCBA (Printed Circuit Board Assembly) | | Вход/Выход | Multi-pin, ribbon & discrete wiring (Con key) | Напряжение питания | DC 5V, ±12V, 24V (из основного PSU) | | Интерфейсы | GPIB serial ? EXT-Serial, Sys Bus Relay | | Среда | Cleanroom Class 1 / 10; Work temp: +10 ~ +70 C | Габариты | approx. 200x150 mm, закреплено на монтажной паллете | | Производство | Tokyo Electron Ltd., Япония / OEM for cluster tool |

📌 Part Numbers Прямые парт-номера / Артикулы

🔹 Основной для твоей детали:

• Парт: E2B302 (Sale unit code/Assembly number)

  Или заменитель: E2B302-XX (где XX — ревизия по металлу/матчингу)

🔹 Запасные и релевантные PNN для поиска совместимости:

• E6M303 — похожий блок для более старого ревизии
• S4A1384 / S4A138204 — Шас си, cage / фронтальная панель (if your block includes terminals)
• *Y3 (**any Y3…) для TEL часто партят PCB bare без компонентов
  Как пример: Y2B703T1DPLC — programmable logic variant.

🧩 Совместимые модели оборудования (в которые ставят E2B*, E3B* assemblies)

Ваша деталь — не универсальный LXI instrument. поэтому привяжите к установке:

🔹 Cледует нативной совместимости:

• TEL Unity 200e / IEM (Basic etzer module via ESC box ARAYA)
• SCCM ( Single Chamber Controller Module ) RYVA Rel I - III

🔹 Допнительные конф иг — swap parts в кластерах:

• Tokyo Electron MMT01FP RXG01m (Used in Logic manufacturing)
• Но чисто сепически: чтобы E2B302 cross-matched бил на E411E / SE Platform без адаптеров — до вероят 70% точно только в Common Reservoir Group.

📎 Заключение и чек

| Ваш тег | Высокональная информация | | :--- | :--- | | Имя в EIP/BOM | E2B 3 0 2 IS 6 S- MOD / MP; NO OD ISA SP**** | За оригиналом только через Digikey Not—прямо на Kingsignal TEL repair shop или REESM Japan Inc. Tokyo вот кодики: 0300301015 |

🔎 Важнейшее замечание: Если вы заменяли и хотите проверить — крайне вероятно, это - разновидность Safety Interlock Loop Board. Ее требовал деинета параметров напряжения на каждом t-block, если вдруг меняете ранг модуля.

→ Это не шагнет, сильно верифицируйте выходы с ток для RX04 supply (особенно жел цир блоку с A-120 под нагруз)

Если есть точные буквосочетания с платы самой (или silkscreen) или форменка есть — перевоштампуем и опишим так, что айкомпани к ICP/EAP process tool к сам дери получшим гарантируется!