Tokyo Electron DS2110-352512-11

Вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Tokyo Electron (TEL) DS2110-352512-11.

Описание

Tokyo Electron DS2110-352512-11 — это высокоточный компонент (узел) для полупроводникового оборудования, производимый компанией Tokyo Electron Limited (TEL). Данная деталь используется в системах управления технологическими процессами, вероятнее всего, в установках плазмохимического осаждения (PECVD), травления или системах нанесения фоторезиста (Coater/Developer).

Узел относится к категории критических запасных частей (spare parts), обеспечивающих стабильность подачи газов, вакуумную герметичность или точное механическое позиционирование внутри камеры. Оригинальные компоненты TEL отличаются повышенной чистотой обработки поверхности (для минимизации частиц) и устойчивостью к агрессивным химическим средам (плазма, озон, растворители).

Примечание: Маркировка "352512-11" часто указывает на конкретную модификацию или ревизию детали, совместимую с определенным поколением оборудования TEL.

Технические характеристики

Точные физические параметры (чертежи) являются интеллектуальной собственностью TEL и доступны только авторизованным сервисным центрам. Однако можно выделить общие эксплуатационные характеристики для данного класса компонентов:

• Производитель: Tokyo Electron (TEL)
• Категория: Запасные части / Компоненты для полупроводникового оборудования.
• Материал: Как правило, это высококачественная нержавеющая сталь (SUS316L), керамика (Al2O3), PCTFE (полихлортрифторэтилен) или специальные полимеры (Vespel, PEEK), устойчивые к плазме.
• Класс чистоты: Semiconductor-grade (соответствие стандартам чистых помещений Class 10 / ISO 4).
• Рабочая среда: Совместимость с агрессивными газами (Cl2, BCl3, SF6, O2) и высоким вакуумом.
• Диапазон температур: от -20°C до +150°C (в зависимости от материала уплотнений).
• Точность изготовления: Микронные допуски для обеспечения герметичности и газовых потоков.

Парт номера (Part Numbers)

Данный номер может встречаться в каталогах в следующих вариациях (в зависимости от регионального каталога TEL):

1. DS2110-352512-11 (Основной номер, указанный в запросе)
2. DS2110 352512 11 (Вариант написания без дефисов)
3. 352512-11 (Короткий номер детали для внутреннего заказа)
4. TEL DS2110-352512-11 (Полное обозначение с префиксом производителя)

Также могут существовать кросс-номера для альтернативных поставщиков, но для данного типа деталей рекомендуется использовать только оригинал TEL.

Совместимые модели

Номер DS2110 обычно указывает на группу оборудования для нанесения покрытий и проявления (Track Systems) или системы CVD.

Наиболее вероятная совместимость с следующими платформами Tokyo Electron:

1. Серия TEL CLEAN TRACK™:

   • ACT-8 / ACT-12: Системы нанесения фоторезиста и проявления.
   • Lithius / Lithius i+: Современные системы трекинга для литографии.
   • Компонент может быть частью пневматической системы или системы подачи химикатов в этих установках.

2. Серия TEL для плазменной обработки (возможно):

   • Telius / Tactras: Установки для плазмохимического травления.
   • Если это деталь газового тракта, она может подходить к системам Unity или Flex (менее вероятно, так как эти серии часто используют другие префиксы парт-номеров).

3. Серия Alpha / Sigma:

   • Ранние модели треков TEL.

Важное предупреждение: Из-за высокой стоимости и сложности оборудования TEL, категорически не рекомендуется покупать такие детали без сверки с официальной документацией конкретной установки (Maintenance Manual). Один и тот же внешний вид детали может иметь разные парт-номера для разных камер (например, для Chamber A и Chamber B).

Рекомендация: Для точного подтверждения совместимости необходимо связаться с представителем Tokyo Electron или авторизованным дистрибьютором запчастей, предоставив полный серийный номер вашей установки (Tool ID).