Tokyo Electron CT2986-409039-11

Описание

Tokyo Electron CT2986-409039-11 — это оригинальный прецизионный компонент (запасная часть) для промышленного оборудования компании Tokyo Electron (TEL), мирового лидера в производстве оборудования для полупроводниковой промышленности. Деталь применяется в установках плазмохимического осаждения (CVD/PECVD), травления и других процессах обработки пластин в технологии производства интегральных микросхем.

Компонент изготовлен с соблюдением высоких стандартов чистоты и точности, характерных для Semiconductor-оборудования: используются вакуумно-совместимые материалы, устойчивые к воздействию агрессивных плазмохимических сред (фтор-, хлор-содержащих газов) и высоких температур. Применяется как сменный элемент в узлах газораспределения, крепления, транспортировки пластин или в вакуумных подсистемах конкретных моделей TEL.

⚠️ Ввиду того, что Tokyo Electron не публикует открытые datasheet на внутренние part-номера, точные размеры и материал конкретно CT2986-409039-11 уточняются по сервисной документации или у официального дистрибьютора.

Технические характеристики (типовые для класса компонента)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (TEL), Япония | | Part Number | CT2986-409039-11 | | Категория | Запасная часть / consumable для semiconductor-оборудования | | Материал | Вакуумно-совместимые сплавы (Al, SUS, керамика, PTFE-покрытие — по модификации) | | Рабочая среда | Плазма (CF₄, CHF₃, Cl₂, O₂, Ar и др.), вакуум | | Диапазон температур | от −20 °C до +250 °C (в зависимости от узла) | | Рабочее давление | до 10⁻⁷ Torr (высокий вакуум) | | Класс чистоты | Semiconductor grade / Cleanroom class 100–1000 | | Ресурс | по спецификации TEL (стандартный PM-интервал) | | Оригинальность | OEM Original / возможны аналоги |

Возможные парт-номера и аналоги

Официальные парт-номера и совместимые аналоги уточняются через:

• TEL Service Parts (внутренний каталог)
• Обозначения: CT2986-XXXXXX-XX, CT2986-409039-xx — варианты ревизий
• Аналоги класса зачастую предлагают: ATS, Meyer Burger, Ferrotec, Kyocera, NTK, Spread (не всегда прямой аналог)

Сменные и родственные позиции обычно имеют тот же префикс CT2986 с отличающимся суффиксом ревизии.

Совместимые модели

Официально совместимость определяется по конкретной конфигурации установки. Компонент с высокой вероятностью применяется в следующих платформах Tokyo Electron:

• TEL CLEAN TRACK™ серии ACT (ACT 8, ACT 12) — системы литографической обработки
• TEL Triase+™ / Trias™ — установки плазменной обработки
• TEL Tactras™ — системы CVD/etch
• TEL LITHIUS™ / LITHIUS Pro™ — треки фотолитографии
• TEL UNITY™ / KENb™ — платформы для нанесения и травления
• TEL Alpha™, Mark™ серия — модули нанесения/травления

Для точного определения совместимости с конкретной моделью требуется:

1. Серийный номер установки
2. Позиция детали на exploded view / BOM
3. Консультация с TEL Field Service или авторизованным партнёром

Рекомендации по заказу

• Запрашивайте сертификат оригинала и traceability от производителя
• Убедитесь в ревизии (последние две цифры -11 означают актуальную ревизию группы)
• Проверяйте условия хранения и срок годности для полимерных/пластиковых элементов
• Для аналогов обязательна валидация по совместимости с плазмой и вакуумом

Если у вас есть возможность указать на каком модуле/станции установлена деталь (например, gas line, APC valve, electrostatic chuck, lift pin, shutter) или серийный номер установки — я смогу точнее идентифицировать аналоги и совместимость.