Tokyo Electron (TEL) CT2980-107135-14

Описание

Tokyo Electron CT2980-107135-14 — это оригинальный компонент (запасная часть) для промышленного полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из мировых лидеров в области оборудования для производства полупроводников и Flat Panel Display (FPD).

Данный парт-номер относится к категории критических изнашиваемых компонентов (consumable/spare parts), используемых в установках плазмохимического осаждения (PECVD), травления (Etch) или CVD-систем TEL. Точное назначение детали — керамический/кварцевый компонент либо элемент газораспределительной системы (showerhead, электрод, изолятор и т.п.), работающий в условиях агрессивной плазменной среды.

Компоненты серии CT (Clean Technology / Ceramic Technology) изготавливаются из высокочистых материалов (Al₂O₃, AlN, SiC, кварц, Y₂O₃-покрытия) и обеспечивают:

• Высокую стойкость к плазменной эрозии
• Минимальное загрязнение частицами (particle-free)
• Стабильность параметров процесса
• Совместимость с техпроцессами 200/300 мм

Технические характеристики (типовые для серии)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Парт-номер | CT2980-107135-14 | | Категория | Запасная часть / расходный компонент | | Материал | Керамика (Al₂O₃ / AlN) либо кварц (уточняется по ревизии) | | Чистота материала | ≥ 99.5% — 99.99% | | Рабочая температура | до 400–800 °C (в зависимости от процесса) | | Совместимость с плазмой | Да, стойкость к F-, Cl-, O-плазме | | Диаметр подложки | 200 мм / 300 мм (зависит от платформы) | | Класс чистоты | Cleanroom Class 100 и выше | | Упаковка | Двойная антистатическая, вакуумная | | Соответствие | RoHS / SEMI стандарты |

⚠️ Примечание: точные геометрические размеры, вес и материал по парт-номеру CT2980-107135-14 публично TEL не раскрывает — информация предоставляется по запросу через авторизованных дистрибьюторов или сервисные центры TEL.

Парт-номера (Part Numbers) семейства

Поскольку конкретный парт-номер является уникальным идентификатором, ниже приведены связанные и родственные номера из той же серии компонентов TEL (CT2980-…):

| Парт-номер | Назначение | |---|---| | CT2980-107135-14 | Основной компонент (запрашиваемый) | | CT2980-107135-XX (варианты .10, .12, .13, .15) | Ревизии той же детали | | CT2980-107134-XX | Сопрягаемая деталь / предыдущий номер | | CT2980-107136-XX | Сопрягаемая деталь / последующий номер | | CT2960-… / CT2970-… | Предыдущие серии (поколения) | | TEL Refurb HD-xxxx | Восстановленный аналог (refurbished) |

Реальные interchangeable/cross-reference номера выдаются только через TEL Solutions Portal или авторизованных партнёров (например: MKS Instruments, Advanced Energy, Coorstek, Ferrotec, Pretext, Entegris) — с обязательной верификацией по серийному номеру установки.

Совместимые модели оборудования

Парт-номер серии CT2980- применяется в следующих платформах Tokyo Electron:

TEL Etch systems

• Telius™ (SCCM, CCP)
• Tactras™
• UNITY™ Me (200 мм)
• Capel™ (300 мм)
• HYE (High Yield Etch)

TEL CVD / PECVD systems

• Turtle™
• OHIRA™
• WACC / WAC
• Lancer™

TEL ALD / Clean systems

• NT333 / NT332
• Clean Track™ ACT™ серии (для обслуживающих компонентов)

FPD / LCD systems (расширенно)

• Cleaner / Sputtering платформы TEL

⚠️ Совместимость зависит от конкретной ревизии камеры, модели реактора и года выпуска установки. Окончательная проверка — только по BOM (Bill of Materials) конкретного tool’а и серийному номеру.

Рекомендации по закупке

1. Обращаться напрямую в Tokyo Electron или авторизованного дистрибьютора (FOUP/SPS: Reram, SurplusGLOBAL, Conex, PartSphere, Silicon Valley Parts).
2. Предоставить serial number установки и номер камеры для подтверждения.
3. Учитывать refurbished (восстановленный) vs new (новый) — разница по цене 40–70%.
4. Проверять наличие CoO (Country of Origin) и traceability — критично для fab-audit.
5. Свинг-детали требуют квартального PM-цикла — планируйте закупку заранее.

Если у Вас есть фото детали или номер установки — можно уточнить назначение и найти precision-cross номер. Напишите — помогу с идентификацией.