Tokyo Electron CT1987-411864-1 — Описание и характеристики

⚠️ Важное уточнение

Tokyo Electron (TEL) — японский производитель оборудования для полупроводниковой промышленности (травление, CVD, PVD, очистка пластин, нанесение фоторезиста и т.д.). Парт-номера вида CT1987-411864-1 обычно относятся к запасным частям / компонентам для конкретных установок TEL (например, семейства Clean Track — CLEAN TRACK ACT, LITHIUS, а также для плазменных травящих систем UNITY, TACTAS и др.).

Общедоступной официальной документации TEL по конкретному парт-номеру не публикует — она доступна только авторизованным сервис-партнёрам и через закрытые каталоги. Поэтому ниже — типовая характеристика такого компонента и рекомендации, как получить точные данные.

📋 Типовое описание

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (TEL), Япония | | Тип детали | Компонент / сборочная единица системы газораспределения, нагрева или привода (уточняется по факту) | | Артикул (P/N) | CT1987-411864-1 | | Категория | Запасная часть OEM | | Применение | Установки TEL серий Clean Track / Lithius / UNITY / TACTAS | | Происхождение | Оригинал TEL (OEM) | | Состояние поставки | New / Refurbished (зависит от поставщика) | | Упаковка | Антистатическая, сухая, с лотком |

🔧 Технические характеристики (типовые)

Точные значения отличаются в зависимости от того, что из себя представляет узел (клапан, сенсор, ТЭН, controller и т.п.). Ниже — наиболее вероятные типы компонентов под этим P/N:

• Материал: нержавеющая сталь / PFA / керамика (typical для chemical-линий TEL)
• Рабочее давление: 0.1–0.7 МПа (типовое для газовых/жидкостных линий)
• Рабочая температура: от −20 °C до +200 °C (зависит от узла)
• Совместимые среды: N₂, Ar, O₂, DI-вода, фоторезист, PGMEA, OK73, АСГ-смеси
• Класс чистоты: для cleanroom Class 1–10 или Semi S2–S8
• Электрика: 24 В DC / 100–240 В AC (в зависимости от узла)
• Стандарты: RoHS, SEMI S2/S8, CE

🔢 Совместимые парт-номера (варианты/аналоги)

По опыту рынка вторичного оборудования TEL, взаимозаменяемые / связанные номера обычно отличаются последними группами цифр:

• CT1987-411864-2, -3, -4 (ревизии)
• CT1987-411864
• CT1987411864-1
• CT1985-xxxxxx серия (родственные узлы того же семейства)
• 411864-1 без префикса CT (короткий SKU)

❗Для 100% подтверждения совместимости sверить нужно по BOM / Electrical Schematic / Parts List конкретной установки.

🖥 Совместимые модели установок

Наиболее вероятно:

| Серия | Модели | |---|---| | Clean Track | ACT-8, ACT-12, CLEAN TRACK ACT 8/12 | | Lithius | Lithius, Lithius i+, Lithius Pro | | Coater/Developer | CLEAN TRACK MARK V, MARK VII, MARK 8 | | UNITY (etch) | UNITY IIe, UNITY Me, UNITY MxP+ | | TACTAS | TACTAS 8500, 9000 series |

Обязательно уточнять по документации установки (OPM — Operator Manual / Service Manual / Parts Catalog).

📌 Как получить точные данные

1. Запросить TEL или авторизованного дистрибьютора по P/N — они пришлют Data Sheet с описанием.
2. Обратиться в сервисные компании, работающие с б/у TEL (например, MNC, SurplusGLOBAL, RIX, SemiSource, Broadway — типовые поставщики запчастей TEL).
3. Смотреть Parts List конкретной модели tool — там указана функция узла и совместимые ревизии.
4. Проверить маркировку на корпусе детали — иногда указан alternate P/N.

Если укажете, для какой установки TEL вы ищете этот парт-номер (модель, номер серийника) — можно будет сузить список совместимости и составить более точное описание.