Tokyo Electron CT1985-449583-11

Описание

Tokyo Electron CT1985-449583-11 — это оригинальный сервисный/сменный компонент производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для полупроводниковой промышленности. Данная позиция представляет собой прецизионную деталь (узел/запасную часть), используемую в составе промышленных установок TEL для обработки пластин (wafer).

Такие компоненты применяются в кластерах и модулях TEL, предназначенных для процессов:

• нанесения покрытий (coater) и проявления (developer) — платформы серии CLEAN TRACK;
• плазмохимического осаждения (PE-CVD);
• термической обработки;
• травления и очистки пластин.

Деталь рассчитана на работу в жёстких условиях реакторного пространства: вакуум, агрессивные химические среды, высокие температуры и требования по классу чистоты (ISO Class 1–3, отсутствие частиц и загрязнений).

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Артикул / Part Number | CT1985-449583-11 | | Тип компонента | Прецизионный узел / сервисная запасная часть | | Материал | Нержавеющая сталь / фторполимер (PFA/PTFE) / керамика / алюминий с покрытием (уточняется по спецификации) | | Рабочая среда | Вакуум / плазма / агрессивные газы (Cl₂, SF₆, CF₄ и др.) | | Рабочая температура | до ~ 200–500 °C (зависит от применённого материала) | | Класс чистоты | Совместим с Cleanroom ISO Class 1–3 | | Обработка поверхности | Электрополировка / анодирование / фторополимерное покрытие | | Совместимость с оборудованием | Установки и кластеры Tokyo Electron серий CLEAN TRACK / UNITY / Triase+ и аналогичные | | Упаковка | Антистатическая, парьерная (vacuum-sealed) |

Примечание: точные геометрические размеры, допуски и материалы для данной позиции предоставляются TEL только по официальному запросу (RFQ) у авторизованного дистрибьютора и в сервисной документации. Публичные technical data sheets по большинству внутренних парт-номеров TEL не распространяются.

Парт-номера и взаимозаменяемые аналоги

Прямые эквиваленты среди опубликованных каталожных номеров отсутствуют — CT1985-449583-11 является внутренним P/N TEL. Возможные варианты совместимых/заменяющих номеров:

• CT1985-449583-11 (базовый)
• CT1985-449583-10 / -12 / -13 — соседние ревизии того же артикульного семейства (проверяются через ECN/ECR)
• Возможные субкоды по региону поставки (Asia / EU / US)

Рекомендуется сверку по:

1. Серийному номеру установки;
2. Модулю и позиции узла (assembly drawing);
3. Актуальной BOM (Bill of Materials) из TEL Customer Portal.

Совместимые модели оборудования

Позиция применима к системам Tokyo Electron следующих платформ (типово):

• CLEAN TRACK серии:
  • ACT™ / ACT8 / ACT12
  • LITHIUS / LITHIUS i / LITHIUS Pro / LITHIUS Pro V / LITHIUS Pro Z
  • CLEAN TRACK™ LITHIUS / CLEAN TRACK ACT™
• Triase+ и Triase™ (coater/developer)
• UNITY™ (платформы CVD / эпитаксия)
• Технологические кластеры семейства TEL INDY / Tactras™ / Vigus™ (в зависимости от модуля и версии сборки)

Точная привязка — только по service manual конкретной установки, т. к. один и тот же артикул может быть использован в нескольких узлах или, наоборот, иметь модификации под конкретную модификацию платформы.

Рекомендации по закупке

1. Запрашивайте позицию у авторизованного сервис-партнёра TEL (в РФ/ЕАЭС поставки ограничены).
2. Требуйте сертификат происхождения (CoO), сертификат соответствия и Certificate of Conformance (CoC).
3. Проверяйте актуальность ревизии (revision level) — у TEL часто выходят ECN с заменой субкомпонентов.
4. Для б/у рынка — обязательна проверка на наличие следов плазменной эрозии, микротрещин и остаточной контаминации.

Если у вас есть доступ к service manual или коду установки — прикрепите их, и я смогу помочь конкретизировать узел (часть / assembly), в котором применяется CT1985-449583-11, и подобрать точные аналоги/кросс-референсы.