Tokyo Electron BX81-000005-14

Описание

Tokyo Electron BX81-000005-14 — это оригинальный компонент (запасная часть) для промышленного оборудования Tokyo Electron, используемого в производстве полупроводниковых пластин. Деталь относится к узлам газораспределительной системы / вакуумной подсистемы оборудования серий CLEAN TRACK™ (coater/developer) или CVD/etch установок TEL.

Компонент представляет собой прецизионную деталь, применяемую в системах обработки пластин (300 мм) в кластере нанесения фоторезиста или проявителя. Используется в линиях фотолитографии.

⚠️ Примечание: TEL не публикует полные открытые спецификации на отдельные парт-номера компонентов. Часть данных получена из каталогов запчастей и вторичного рынка. Для точных размеров/материалов рекомендуется запрашивать datasheet у официального дистрибьютора TEL.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | BX81-000005-14 | | Тип компонента | Механическая/газовая деталь (фитинг, вставка, держатель) | | Материал | Как правило — PFA / PTFE / нержавеющая сталь или керамика (зависит от версии) | | Совместимость по газам | Инертные и агрессивные газы высокой чистоты | | Класс чистоты | Semiconductor-grade (для производства 300 мм пластин) | | Рабочая среда | Вакуум / газовые линии | | Рабочее давление | Обычно до 0.8–1.0 МПа (в зависимости от версии) | | Температурный диапазон | ~ 20…+80 °C (уточняется у TEL) | | Страна происхождения | Япония | | Тип поставки | Оригинал / New / Refurbished |

Возможные парт-номера (близкие модификации линейки BX81)

| Парт-номер | Примечание | |---|---| | BX81-000005-01 … -10, -12, -13 | Ранние версии той же линейки | | BX81-000005-14 | Основной артикул (данный) | | BX81-000005-15, -16 | Возможные последующие ревизии | | BX81-000006-XX | Смежная подгруппа узлов |

Совместимое оборудование

TEL никогда не указывает публично кросс-совместимость конкретных парт-номеров, но по опыту рынка запчастей BX81-000005-14 применяется на:

CLEAN TRACK™ серии:

• CLEAN TRACK ACT® 8
• CLEAN TRACK ACT® 12
• CLEAN TRACK LITHIUS™ / LITHIUS Pro™
• CLEAN TRACK LITHIUS Pro™ V / V+
• CLEAN TRACK LITHIUS Pro™ Z
• Серия CLEAN TRACK™ (for EUV / 300 mm)

Другие системы TEL:

• Установки сухого травления (Etch) так называемого производственного класса TEL UNITY™
• Реакторы CVD/ALD серии TELFORMULA™, TRIAS™ (при работе в блоках подачи газа)

Рекомендации по поиску и покупке

1. Проверка по BOM: для 100% идентификации запросите у TEL документ Bill of Materials с изображением нужного узла.
2. Альтернативные поставщики: запросы по парт-номеру конкурируют фирмы-дистрибьюторы:
   • Newman Key / Surtec
   • SAS (Surplus Automation Systems)
   • Wenzel / Hypertechnologies
   • eBay-semantics: б/у оригиналы
3. Осторожно с clone-компонентами: аналоги из Китая/Kореи часто визуально идентичны, но не соответствуют спецификации чистоты и могут стать причиной contamination-wafer.
4. Возврат: оригинальные запчасти TEL иногда идут без возможности возврата — уточняйте перед заказом.

Если у вас есть конкретная установка (например Lithius Pro Z с года релиза) — уточните setup-number cluster'а — это позволит подтвердить модификацию именно -14, а не -13 / -15.

Хотите, чтобы я сделал расшифровку правил маркировки TEL (система BX81-XXXXXX-YY) или сравнительную таблицу возможных аналогов?