Tokyo Electron BB81-000943-14

Описание

Tokyo Electron BB81-000943-14 — это оригинальный запасной компонент (парт-номер) для промышленного оборудования Tokyo Electron, используемого в полупроводниковом производстве. Как правило, детали с подобными артикулами относятся к узлам газораспределения, вакуумных систем, камерам обработки или системам подачи прекурсоров в установках CVD/ALD/etch.

Данный парт-номер применяется в оборудовании для нанесения тонких плёнок и плазмохимической обработки пластин. Компонент поставляется как оригинальная запчасть (OEM), обеспечивающая совместимость и соответствие требованиям чистоты, предъявляемым к оборудованию полупроводникового класса.

⚠️ Примечание: Tokyo Electron непублично раскрывает детальные спецификации по отдельным парт-номерам BB-серии в открытых источниках. Для точной идентификации конкретной детали (тип, материал, назначение) рекомендуется обращаться к официальному дистрибьютору TEL или в сервисную документацию установки.

Технические характеристики (типовые для компонентов данной категории)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (TEL) | | Парт-номер | BB81-000943-14 | | Категория | Запасная часть / компонент камеры обработки | | Тип оборудования | Установки CVD / ALD / Etch / Clean | | Материал | Как правило — нержавеющая сталь, Al₂O₃, кварц или фторопласт (уточняется по спецификации) | | Класс чистоты | Semiconductor grade (Cleanroom compatible) | | Рабочая среда | Вакуум / агрессивные газы / плазма (зависит от конкретного узла) | | Страна производства | Япония | | Упаковка | Антистатическая, чистая упаковка |

Парт-номера (связанные/аналогичные)

Прямые аналоги и связанные позиции этой серии обычно включают:

• BB81-000943-11
• BB81-000943-12
• BB81-000943-13
• BB81-000943-14 ← базовый
• BB81-000943-15
• BB81-000943-16

→ Последние две цифры, как правило, обозначают ревизию / модификацию детали. При заказе важно указывать точную ревизию.

Совместимые модели оборудования

Данный парт-номер относится к платформе TEL и потенциально совместим с установками серий:

| Платформа | Назначение | |---|---| | TEL Alpha Series | CVD / ALD | | TEL Trias / Trias+ | Plasma etch / CVD | | TEL Tactras | Etch | | TEL Telius | CVD / Etch | | TEL CELLESTA | CVD | | TEL INDY / INDY Plus | CVD | | TEL Clean Track (LITHIUS) | Трекинг / нанесение фоторезиста |

Точная привязка к модели определяется по сервисному мануалу установки и интерактивному каталогу запчастей TEL (TEL Service Portal / TELeS).

Рекомендации по заказу

1. Проверьте ревизию: BB81-000943-14 — конкретная ревизия, более ранние/поздние могут быть не взаимозаменяемы.
2. Запрос через TEL или авторизованного дистрибьютора — единственный надёжный способ подтвердить назначение детали.
3. Укажите серийный номер установки при заказе — это ускорит подбор.
4. Осторожно с аналогами на вторичном рынке — для полупроводникового оборудования критична чистота и сертификация.

Если вы уточните, к какой именно установке (например, TEL INDY, Telius, Tactras) относится этот номер — я смогу дать более конкретное описание назначения этой детали (клапан, крышка, вставка, сопло и т.п.).