Tokyo Electron BB81-000005-15

Описание

Tokyo Electron BB81-000005-15 — промышленный компонент (деталь/узел) для вакуумного технологического оборудования компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из ведущих мировых производителей оборудования для полупроводникового производства. Данный парт-номер относится к категории сменных частей, используемых в установках плазмохимического осаждения (PECVD), травления (Etch) или CVD-системах TEL.

Компоненты серии BB81 обычно представляют собой прецизионные детали газораспределительной системы, крепежа, вакуумной арматуры или узлов камеры, рассчитанные на работу в агрессивной плазменной среде и высоком вакууме.

Из-за закрытости документации TEL точные данные по геометрии и материалам доступны только авторизованным сервис-партнёрам.

Технические характеристики (типовые для серии BB81)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | BB81-000005-15 | | Категория | Запасная часть / сменный компонент | | Совместимость | Установки TEL серий Clean Track, Etch, CVD | | Материал | Нержавеющая сталь / алюминий с покрытием (уточняется) | | Рабочая среда | Вакуум, плазма (CF₄, O₂, Ar и др.) | | Рабочая температура | до ~200 °C (зависит от узла) | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor Grade | | Страна производства | Япония |

⚠️ Внимание: точные ТТХ (размеры, материал, давление, ресурс) предоставляются TEL только по запросу через авторизованного дистрибьютора.

Парт-номера (смежные / взаимозаменяемые)

Компоненты TEL с похожими номерами BB81-000005-XX:

• BB81-000005-01
• BB81-000005-05
• BB81-000005-10
• BB81-000005-15 (текущий)
• BB81-000005-20

Перед заказом обязательно сверяйте актуальный номер по сервис-мануалу конкретной установки — TEL часто меняет суффиксы версий.

Совместимые модели оборудования TEL

Наиболее вероятная совместимость с установками Tokyo Electron:

• Clean Track серии: ACT8, ACT12, CLEAN TRACK LITHIUS, LITHIUS Pro
• Etch-системы: Tactras, Telius, UNITY IIe, UNITY Me
• CVD/ALD: Triase+, Alpha-8SE
• Coater/Developer: MARK V, MARK VII, MARK 8

Также может применяться в:

• Установках эпитаксии (Epic)
• Системах обработки пластин 200/300 мм

Рекомендации по закупке

1. Запрос делать только через авторизованного сервис-партнёра TEL (в СНГ — через представительства в РФ/Азии).
2. Предоставить полный серийный номер установки и её модель для подтверждения совместимости.
3. Для критичных узлов рекомендуется заказывать с гарантией и сертификатом чистоты.

Данные носят справочный характер. Официальные спецификации предоставляет только Tokyo Electron Limited и её авторизованные дистрибьюторы.