Tokyo Electron 5044-000387-11

Описание

Tokyo Electron 5044-000387-11 — это оригинальный компонент (запасная часть) для промышленного технологического оборудования Tokyo Electron, используемого в полупроводниковом производстве. Деталь применяется в установках плазмохимического осаждения (PECVD), травления или иного оборудования для обработки пластин. Компонент относится к категории расходных/сменных элементов газораспределительной, вакуумной или электрической подсистемы.

⚠️ Важно: точное функциональное назначение данной позиции (клапан, датчик, электрод, фитинг, кабель и т.п.) определяется по официальному каталогу TEL или сервисной документации к конкретной модели установки. Публичные каталоги не всегда раскрывают полную спецификацию — рекомендуется запросить datasheet у авторизованного дистрибьютора (например, через TEL Service или партнёров вроде RORZE, AST, eTc).

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 5044-000387-11 | | Категория | Запасная часть / сменный компонент | | Совместимость | Установки TEL серий для CVD/etch/thermal processing | | Материал | Зависит от узла (нерж. сталь, керамика, фторполимер и др.) | | Условия эксплуатации | Вакуум/плазма, агрессивные среды (в соответствии с узлом) | | Упаковка | Оригинальная заводская |

Точные электрические/механические параметры (напряжение, ток, давление, температура, присоединительные размеры) — по сервис-мануалу конкретной установки.

Парт-номера (взаимозаменяемость)

Прямые аналоги и ревизии обычно указываются в формате:

• 5044-000387-11 — базовая позиция
• 5044-000387-12 / -13 — возможные ревизии (уточнять у поставщика)
• Кросс-референс к парт-номерам субпоставщиков (если компонент OEM — например, VAT, Swagelok, SMC, Edwards и др.) — определяется по маркировке на детали.

Список кросс-номеров официально публикуется только в каталоге TEL; в открытых источниках он неполный. Для точного подбора аналога нужен либо сервис-мануал, либо запрос дистрибьютору.

Совместимые модели

Компоненты с индексом 5044-… применяются в оборудовании Tokyo Electron for semiconductor manufacturing, в частности в установках:

• Серия Trias (CVD/ALD)
• Серия Telius (etch/CVD)
• Серия Tactras (etch)
• Серия Alpha и производные платформы

Конкретная привязка к модели — по сервисной документации установки (BOM-лист).

Рекомендация: для гарантированного подбора, проверки ревизии и получения полного datasheet обратитесь в авторизованный сервис Tokyo Electron или специализированных поставщиков запчастей для полупроводникового оборудования — они предоставят официальный кросс-лист и подтверждение совместимости с вашей платформой.