Tokyo Electron 3M87-058595-11

Описание

3M87-058595-11 — это оригинальный сервисный компонент (запасная часть) производства Tokyo Electron (TEL) — японского лидера в области производства оборудования для полупроводниковой промышленности. Деталь применяется в установках плазмохимического осаждения (PECVD), травления и других процессах обработки пластин в составе кластерных платформ TEL.

Компонент относится к категории расходных/быстроизнашиваемых частей, подлежащих периодической замене в ходе профилактического обслуживания (PM) оборудования. Точное функциональное назначение (клапан, фитинг, уплотнение, датчик, пластина газораспределения и т.п.) определяется по индексу и обычно уточняется по сервисной документации TEL —官方 каталоги не публикуют полное описание в открытом доступе, деталь распространяется через авторизованных поставщиков и сервисные центры.

Основные сведения:

• Производитель: Tokyo Electron Ltd. (Япония)
• Категория: Запасная часть / сервисный компонент для полупроводникового оборудования
• Область применения: вакуумные и плазменные модули установок TEL
• Поставка: оригинал TEL (OEM), возможны аналоги от сторонних производителей

Технические характеристики

| Параметр | Значение | |---|---| | Артикул (Part Number) | 3M87-058595-11 | | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Тип | Сервисный компонент / запасная часть | | Совместимость | Установки TEL серий и модулей с индексом 3M87 | | Материал | Уточняется по спецификации (обычно — нерж. сталь, Al, керамика, фторполимеры) | | Рабочая среда | Вакуум / плазма / агрессивные газы (рекомендуется уточнять) | | Диапазон температур | По технической документации TEL | | Ресурс | Периодическая замена при PM | | Страна производства | Япония | | Упаковка | Оригинальная заводская |

⚠️ Примечание: Точные физические, электрические и пневматические параметры (габариты, давление, чистота поверхности, класс чистоты) доступны только в официальной сервисной документации TEL. Указанная информация позволяет идентифицировать деталь, но при заказе и монтаже необходимо сверять конфигурацию с конкретной моделью установки.

Парт-номера и взаимозаменяемость

Оригинальная деталь поставляется под номером:

• 3M87-058595-11 — основной TEL P/N

Возможные варианты и связанные номера (встречаются у дистрибьюторов как cross-reference):

• 3M87-058595
• 3M8705859511
• TEL 3M87-058595-11

Аналоги от сторонних производителей (Coorstek, MKS, VAT, Pfeiffer и др.) могут иметь собственные номера — совместимость необходимо подтверждать по спецификации.

Совместимые модели

Деталь с префиксом 3M87 применяется в оборудовании Tokyo Electron следующих направлений:

• Кластерные платформы TEL CLEAN TRACK (литографические треки)
• Установки PECVD / плазменного травления (серии с модулями на базе префикса 3M87)
• Модули газораспределения и вакуумных подсистем TEL соответствующих конфигураций

Точный список совместимых моделей (например, конкретные модификации TT, Lithius, Tactras, Vigus, Telius и др.) определяется по сервисному manual оборудования. Перед заказом рекомендуется:

1. Сверить P/N со спецификацией конкретной установки.
2. Проконсультироваться с авторизованным сервисным партнёром TEL или поставщиком.
3. Проверить актуальную ревизию детали (суффиксы индекса могут указывать на ревизию).

Если вам нужно, я могу дополнительно:

• оформить описание в виде карточки товара для сайта,
• подготовить текст для тендера/запроса КП,
• сравнить с аналогами других производителей.

Уточните, пожалуйста, для какой цели нужна информация (закупка, ремонт, каталог) — тогда соберу более прицельное описание.