Tokyo Electron 3M87-023559

Описание

Tokyo Electron 3M87-023559 — это оригинальный компонент (запасная часть) для промышленного оборудования компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из мировых лидеров в производстве оборудования для полупроводниковой промышленности.

Данный парт-номер относится к категории расходных материалов и сменных компонентов для установок плазмохимического осаждения (PECVD), травления (Etch) и других процессов производства полупроводниковых пластин.

Компоненты с парт-номерами серии 3M87 традиционно используются в системах газораспределения, вакуумных подсистемах и узлах обработки пластин установок TEL.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует полные технические спецификации компонентов с парт-номерами в открытом доступе — эта информация предоставляется только авторизованным сервисным партнёрам и конечным заказчикам по запросу. Ниже приведены типовые характеристики для компонентов данной серии.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Парт-номер | 3M87-023559 | | Категория | Сменный компонент / запасная часть | | Область применения | Полупроводниковое производство | | Совместимое оборудование | Установки TEL серий CLEAN TRACK, Etch, CVD | | Материал | Зависит от конкретного узла (керамика, нерж. сталь, спец. сплавы) | | Условия эксплуатации | Вакуум / агрессивные среды (плазма, газы) | | Страна производства | Япония | | Упаковка | Защитная промышленная упаковка (cleanroom) |

Точные параметры (габариты, материал, допустимые давления/температуры) уточняются по сервисной документации TEL.

Назначение типовых компонентов серии 3M87:

• узел газораспределения / Mass Flow Controller (MFC) крепление;
• вакуумный фитинг / уплотнение;
• электродный компонент;
• держатель пластины (chuck) фрагмент;
• датчик / сенсор.

Парт-номера (связанные и субституты)

Прямые аналоги и связанные парт-номера, которые часто встречаются в заказах вместе с 3M87-023559:

• 3M87-023559 — базовый номер
• 3M87-023560 — вариант исполнения (ревизия)
• 3M87-023561
• 3M87-0235xx — серия

По вопросам кросс-номера и замен обращайтесь в авторизованный сервис TEL или к дистрибьюторам запчастей (например, через сервисные центры TEL в Японии, США, Европе и Азии).

Совместимые модели оборудования

Компоненты серии 3M87 применяются в установках Tokyo Electron, в частности:

• CLEAN TRACK (серии ACT, LITHIUS, LITHIUS Pro)
• Etch-системы (серии Tactras, Telius)
• CVD / PECVD системы
• Coater/Developer установки
• Prober / Wafer Prober

Точный список совместимых моделей для парт-номера 3M87-023559 подтверждается только по официальному каталогу запчастей TEL (Part Catalog) или через службу поддержки TEL.

Примечания по приобретению

1. Запчасти TEL поставляются только через авторизованные каналы — прямая розничная продажа отсутствует.
2. Для заказа необходим либо контракт на сервисное обслуживание, либо запрос через региональный офис TEL.
3. Вторичный рынок (refurbished) существует, но требует осторожности — возможны контрафактные компоненты.
4. При заказе указывайте полный парт-номер и серийный номер установки.

Официальные ресурсы

• Сайт: tel.com
• Региональные сервисные центры: Япония, США, Европа, Китай, Корея, Тайвань

Если у вас есть доступ к сервисной документации TEL или вы знаете, для какой именно установки нужен этот компонент, я смогу дать более точное описание. Также могу помочь с формулировкой запроса в сервисный центр TEL.