Tokyo Electron 3M80-003216-12

Описание

3M80-003216-12 — это OEM-компонент (запасная часть) производства Tokyo Electron (TEL), предназначенный для использования в полупроводниковом оборудовании компании. Номер относится к категории механических/расходных компонентов, применяемых в установках травления, осаждения или литографии TEL.

Данный парт-номер встречается в контексте кластера нанесения фоторезиста / трекинговых систем и, в частности, в системах подачи химии (chemical delivery), а также в узлах газораспределения (gas line / gas panel). Точная категория зависит от конкретной установки — обычно это фитинг, штуцер, трубка или узел в сборе из нержавеющей стали для агрессивных сред.

Типичные характеристики таких компонентов:

• Материал: нержавеющая сталь (SUS316L) или фторопласт (PTFE/PFA)
• Высокая чистота обработки поверхности (Ra ≤ 0.4 µm), совместимая с требованиями полупроводникового производства
• Стойкость к агрессивным химическим средам (HF, H₂SO₄, растворители)
• Соответствие стандартам SEMI

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 3M80-003216-12 | | Тип компонента | OEM spare part / фитинг или узел подачи газа/жидкости | | Материал (обычно) | SUS316L / PTFE / PFA | | Рабочее давление | до ~0.7–1.0 МПа (зависит от узла) | | Рабочая температура | до ~80–200 °C (в зависимости от применения) | | Совместимость сред | агрессивные химикаты, газы особой чистоты | | Класс чистоты | Semiconductor grade / SEMI compliant |

⚠️ Точные характеристики (размеры, резьба, пропускная способность) публично не раскрываются TEL — они доступны только в сервисной документации для конкретной модели оборудования.

Парт-номера (связанные / варианты)

Публично встречающиеся смежные номера семейства 3M80:

• 3M80-003216-11
• 3M80-003216-12 (рассматриваемый)
• 3M80-003216-13
• 3M80-003217-12
• 3M80-003215-12

Полный список аналогов и замен доступен через TEL Service Portal или у авторизованных дистрибьюторов запчастей.

Совместимые модели оборудования

Данный компонент обычно применяется в системах TEL серий:

| Серия | Назначение | |---|---| | TEL CLEAN TRACK ACT 8 | Трекинг фоторезиста (coater/developer) | | TEL CLEAN TRACK ACT 12 | Трекинг фоторезиста | | TEL CLEAN TRACK LITHIUS / LITHIUS Pro | Coater/Developer для 300 мм | | TEL CLEAN TRACK ACT 8 / ACT 12 | Более старые поколения | | TEL Unity / Unity II / Unity IIe | Платформы для CVD/Etch | | TEL Tactras | Установки плазменного травления | | TEL Telius | Установки травления | | TEL Alpha / Triase | Различные платформы |

Наиболее вероятное применение — системы подачи газа/химии в трекинговых установках CLEAN TRACK ACT и LITHIUS.

Рекомендация

Для получения достоверных характеристик и списка совместимых моделей рекомендуется:

1. Обратиться в TEL Service или авторизованного партнёра (например, через portal.tel.com).
2. Запросить TEL Parts Catalog для конкретной установки.
3. Проверить кросс-референс у дистрибьюторов запчастей второго уровня (например, Semiconductor Parts Suppliers, SurplusGLOBAL, SPS-International).

Уточните, пожалуйста, для какой именно модели установки TEL нужна запчасть — тогда я смогу дать более точную информацию.