Tokyo Electron 3M80-000559-11

Описание

3M80-000559-11 — это оригинальный сервисный/запасной компонент производства Tokyo Electron (TEL), предназначенный для использования в промышленном полупроводниковом оборудовании. Деталь относится к категории consumable/spare parts и применяется в установках травления, осаждения или очистки пластин, выпускаемых TEL.

Такие компоненты обеспечивают стабильность технологического процесса, точность воспроизведения параметров обработки пластин и минимизацию загрязнений в камере. Оригинальные запчасти TEL проходят заводской контроль качества и рекомендуются производителем для планового ТО и восстановительных работ.

⚠️ Точное функциональное назначение детали (клапан, датчик, уплотнение, форсунка, деталь газораспределения и т.п.) зависит от конкретной конфигурации установки. Для подтверждения рекомендуется сверка с актуальным Parts Catalog TEL по серийному номеру инструмента.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Part Number | 3M80-000559-11 | | Категория | Spare Part / Consumable | | Совместимость | Установки TEL серий 3M80 / родственные платформы | | Материал | Зависит от типа детали (нерж. сталь, PTFE, керамика, эластомер) | | Условия эксплуатации | Вакуум / плазма / агрессивные газы (в зависимости от узла) | | Упаковка | Оригинальная заводская (antistatic / cleanroom) | | Страна производства | Япония |

Парт-номера (связанные / взаимозаменяемые)

• 3M80-000559-11 — основной номер
• 3M80-000559 — базовая версия (без ревизии)
• 3M80-000559-XX — возможные ревизии (-10, -12, -13 и т.д.)
• Аналоги и замены уточняются по сервисной документации TEL

Точный список cross-reference номеров предоставляется только через официальный сервис TEL или авторизованных дистрибьюторов.

Совместимые модели

Деталь применяется в оборудовании Tokyo Electron следующих семейств (уточняется по конкретной конфигурации):

• TEL CLEAN TRACK ( coater/developer )
• TEL ALPHA / LITHIUS серии
• TEL TACTRAX
• TEL UNITY / Cellstar
• Установки этчинга и CVD/PVD соответствующей платформы

⚠️ Универсальной таблицы совместимости в открытом доступе нет — проверка выполняется по сервисному мануалу и Parts List для конкретного инструмента (по Machine ID / серийному номеру).

Рекомендации

1. Запрашивать деталь только у авторизованных поставщиков TEL — на рынке присутствуют неоригинальные копии.
2. Сверять номер с актуальным Parts Catalog производителя (ревизии могут быть несовместимы).
3. Для подбора аналогов и точной совместимости обращаться в TEL Service или к официальному дистрибьютору с указанием модели установки и серийного номера.

Если уточните, для какой именно установки (например, CLEAN TRACK ACT12, LITHIUS Pro Z и т.д.) нужна деталь, смогу дать более предметную информацию по совместимости.