Tokyo Electron 3D81-000020-14

Описание

3D81-000020-14 — это оригинальный сервисный компонент (запасная часть) производства Tokyo Electron (TEL) — японского производителя оборудования для полупроводникового производства. Деталь относится к узлам газораспределительной системы / вакуумной подсистемы камеры осаждения (CVD/ALD) или травления.

Данный парт-номер используется в платформах TEL для нанесения диэлектрических и проводящих плёнок. Компонент поставляется как OEM-запчасть и предназначен для замены при плановом ТО или ремонте камеры. Точное функциональное назначение (клапан, фитинг, уплотнение, сменный узел газовой линии и т.п.) определяется по сервисной документации TEL; номер относится к группе «3D81» — узлы газовых/вакуумных трактов.

⚠️ Примечание: TEL не публикует подробные спецификации на сервисные парт-номера в открытом доступе. Ниже приведены обобщённые данные; точные параметры (материал, давление, температурный диапазон) следует уточнять по официальному каталогу запчастей TEL или у авторизованного сервис-партнёра.

Технические характеристики (ориентировочные)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 3D81-000020-14 | | Тип компонента | Сервисная запчасть газовой/вакуумной подсистемы | | Категория | OEM spare part | | Материал (типично) | Нержавеющая сталь / фторполимер (PTFE, PFA) / эластомер (Viton, Kalrez) — уточняется по типу узла | | Рабочая среда | Технологические газы (N₂, Ar, O₂, прекурсоры), вакуум | | Применение | Камеры CVD / ALD / PVD / etch платформ TEL | | Состояние поставки | Новая, OEM | | Упаковка | Заводская, с маркировкой TEL |

Парт-номера (связанные / альтернативные)

Официально подтверждённых «кросс-номеров» TEL для данной позиции в открытых источниках нет. Встречающиеся обозначения в каталогах запчастей:

• 3D81-000020-14 — основной (базовый) номер
• 3D81-000020 — базовая группа (без суффикса ревизии)
• Суффиксы -11 / -12 / -13 / -14 — ревизии/варианты исполнения (взаимозаменяемость проверять по сервис-мануалу)

Рекомендуется сверять номер с Service Parts Catalog для конкретной платформы TEL.

Совместимые модели (предположительно, по семействам TEL)

Прямая привязка к модели в открытых источниках не публикуется. По группам оборудования TEL, где применяются узлы серии 3D81:

• TEL Trias (CVD/ALD)
• TEL Alpha / INDY (плазменные CVD)
• TEL Unity / UNITY MeRIE (CVD/etch)
• TEL Tactras (etch)
• TEL Certas / CELLESTA (различные камеры)

Точную совместимость с конкретной моделью/камерой необходимо проверять по сервисной документации TEL (EPCI/spec) — без этого указание модели будет некорректным.

Рекомендации по закупке

1. Запросить у поставщика OEM Certificate of Conformance и подтверждение парт-номера.
2. Сверить ревизию (-14) с установленной в камере — ревизии могут быть невзаимозаменяемы.
3. Уточнить у TEL или авторизованного дистрибьютора актуальный cross-reference и статус (active/obsolete).

Если у вас есть фото детали или контекст (тип камеры, платформа) — могу помочь сузить назначение узла.