Tokyo Electron 3D10-350401-V1 — Описание и характеристики

Описание

Tokyo Electron 3D10-350401-V1 — это оригинальный компонент (запасная часть) для промышленного оборудования Tokyo Electron, используемого в производстве полупроводников. Деталь относится к категории прецизионных узлов, применяемых в установках травления, осаждения или очистки пластин (в зависимости от конкретной конфигурации системы).

Как правило, компоненты с подобной маркировкой (серия 3D10) представляют собой:

• Газораспределительные узлы или элементы газовых линий
• Прецизионные механические детали (крепёж, фитинги, держатели)
• Вакуумные компоненты и уплотнения
• Элементы подсистемы подачи/откачки газов

Деталь поставляется как OEM-запчасть и предназначена для замены изношенных или вышедших из строя компонентов без остановки производственной линии на длительный срок.

⚠️ Важно: Точное функциональное назначение детали определяется по внутренней документации Tokyo Electron (TEL). Для получения полной спецификации рекомендуется обратиться в сервисный центр TEL или к официальному дистрибьютору.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Артикул | 3D10-350401-V1 | | Тип | OEM запасная часть / компонент оборудования | | Категория | Полупроводниковое производственное оборудование | | Материал | Нержавеющая сталь / спец. сплавы (уточняется по спецификации) | | Совместимость | Установки TEL серий для CVD, PVD, Etch, Clean | | Страна производства | Япония | | Упаковка | Антистатическая, промышленная |

Точные значения: рабочие давления, температуры, допуски и материалы — уточняйте в сервисной документации TEL.

Парт-номера (возможные варианты и аналоги)

Прямые и связанные парт-номера, которые встречаются при заказе данного компонента:

• 3D10-350401-V1 (основной)
• 3D10-350401 (базовый артикул без ревизии)
• 3D10-350401-V2 / -V3 (возможные ревизии)
• 3D10-350401-V1-A (варианты комплектации)
• Аналоги от сторонних поставщиков могут иметь собственные внутренние каталожные номера

Рекомендуется всегда указывать полный артикул с ревизией при заказе, включая суффикс V1, так как ревизии могут быть не взаимозаменяемы.

Совместимые модели оборудования

Данный компонент обычно совместим с установками Tokyo Electron следующих серий (точная принадлежность определяется по конфигурации):

• TEL CLEAN TRACK (системы нанесения фоторезиста и проявления)
• TEL UNITY / UNITY-Me (платформы для CVD/PVD)
• TEL Tactras (установки травления)
• TEL Certas / CELLESTA (системы осаждения)
• TEL Alpha / OPTIMA (установки влажной очистки)
• Отдельные модели TEL LITHIUS (трековые системы)

✳️ Совместимость конкретной детали с вашей установкой подтверждается по серийному номеру системы и её конфигурации — обратитесь в TEL или авторизованного сервис-партнёра.

Где заказать

1. Официальный сервис Tokyo Electron (региональный офис)
2. Авторизованные дистрибьюторы TEL
3. Вторичный рынок (refurbished / new old stock) — при покупке важно проверять подлинность и ревизию

Если у вас есть доступ к внутренней документации TEL или сервисному мануалу по этой детали, я могу помочь структурировать информацию по электрическим/пневматическим параметрам, чертежам и процедурам замены. Сообщите, какой аспект интересует подробнее.