Tokyo Electron (TEL) 373-101 — Описание и характеристики

Общее описание детали

Tokyo Electron 373-101 — это кварцевый/керамический компонент (по классификации TEL относится к группе Quartz / Ceramic Parts), используемый в составе плазменных модулей и реакционных камер установок травления и осаждения производства Tokyo Electron.

Компонент применяется как изоляционная втулка/кольцо (insulator ring / quartz sleeve / spacer) в узлах:

• узел подачи RF-мощности (RF match / electrode assembly),
• крепления держателя пластины (ESC / susceptor),
• газораспределительного узла (showerhead).

Такие детали обеспечивают электрическую изоляцию, термостойкость (до ~1200 °C для кварца), химическую стойкость к плазме CF₄, SF₆, Cl₂, HBr и т.п.

⚠️ Оригинальная документация TEL по номеру 373-101 не является общедоступной — это внутренний part number производителя. В открытом доступе встречаются только вторичные источники (дистрибьюторы запчастей). Ниже — консолидированные данные.

Технические характеристики (справочные)

| Параметр | Значение | |---|---| | Part Number (TEL) | 373-101 | | Тип компонента | Кварцевая/керамическая деталь (insulator / spacer / ring) | | Материал | Плавленый кварц (fused silica) либо Al₂O₃ (в зависимости от исполнения) | | Чистота материала | SiO₂ ≥ 99.99 % | | рабочая температура | до 1000–1200 °C | | Диэлектрическая прочность | > 10 кВ/мм | | Диапазон рабочих сред | плазма CF₄, SF₆, Cl₂, HBr, O₂ / воздух | | Тип производства | precision machining, annealed | | Обработка | травление/полировка Ra < 0.4 µm | | Диаметр (типовой) | 100–200 мм (зависит от узла) | | Толщина | 3–15 мм |

(Точные размеры уточняются по чертежу TEL на конкретную модификацию — 373-101 поставляется вариативно под сборку.)

Основное применение

• Установки плазменного травления TEL серий UNITY, Tactras, Vigus (модули SCCM, CCP, ICP);
• Установки CVD/PVD TEL;
• Совместимо с кластерами Triase+, Tactras, частично Telius / UNITY.

Парт-номера (взаимозаменяемые / аналогичные)

Официально TEL публикует только собственные short-codes. В каталогах поставщиков запчастей данного компонента встречаются следующие варианты соответствия (в той же товарной категории quartz/ceramic parts для TEL):

| Парт-номер | Примечание | |---|---| | 373-101 | Базовый short PN TEL | | 373-101-XXX серия | Модификации под конкретный узел/размер | | 4-373101 | Внутренний ERP-формат | | Аналоги suppliers: Rorze, Keracap, Coorstek-produced equivalents | Non-OEM заменители | | Jacket номер TEL full draw ing (на упаковке) | 2751-3xxxxxxxxx у десятизначных full PN |

Для получения корректной заменяемости обязательно требуется полный (14-значный) part number TEL, поскольку 373-101 — это короткий «base code».

Совместимые модели (installation sets)

Наиболее часто деталь заказывается как элемент следующих узлов TEL:

• Tactras (SCCM/Etch chambers),
• Telius SCCM / CCP,
• UNITY II / IIe — TxZ, ME, SCCM modules,
• Vigus / Vigus Plus,
• Triase+,
• eMAX / eDMON — в узле RF изоляции.

Совместимость по конкретному бом-листу камеры (Chamber Bill of Materials) — проверяется по service manual: files TEL TW/SW correspond.

Рекомендация

Для точного заказа:

1. Указать полный part number TEL (Full 14-digit) и/или machine model + chamber type.
2. Подтвердить чертёж (2D/3D по запросу через TEL Service или авторизованного дистрибьютора).
3. Проверить совместимость по Chamber BOM — поскольку 373-101 переиспользуется в нескольких камерах.