Tokyo Electron 3286-004575-11

Описание

Tokyo Electron 3286-004575-11 — это оригинальная запасная часть (компонент) для промышленного оборудования Tokyo Electron, используемого в полупроводниковом производстве. Деталь применяется в установках плазмохимического осаждения (PECVD), травления и других процессах обработки пластин в составе кластерных систем TEL серий UNITY, CLEAN TRACK и Triase+.

Компонент поставляется как OEM-запчасть и предназначен для замены изношенных или вышедших из строя элементов в камере обработки или системе газораспределения. Точное функциональное назначение (например, газовая форсунка, уплотнение, электрод, деталь крепления или элемент системы подачи газа) определяется по чертежу производителя — TEL не публикует открытые спецификации на уровне отдельных парт-номеров.

Технические характеристики

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 3286-004575-11 | | Тип | Запасная часть / компонент камеры | | Совместимость | Оборудование TEL для полупроводникового производства | | Материал | Как правило — нержавеющая сталь, Al₂O₃ (керамика), PTFE или PCTFE (уточняется по чертежу) | | Рабочая среда | Плазма, агрессивные газы (Cl₂, CF₄, CHF₃, O₂ и др.) | | Диапазон температур | Зависит от узла применения | | Страна производства | Япония |

⚠️ Точные геометрические размеры, материал и условия эксплуатации доступны только в сервисной документации TEL или у официального дилера.

Парт-номера (взаимозаменяемые / связанные)

Обычно вместе с 3286-004575-11 в каталогах фигурируют близкие модификации:

• 3286-004575-10
• 3286-004575-12
• 3286-004575-01
• 3286-004575-00

Суффикс -11 обозначает ревизию детали; предыдущие/последующие ревизии, как правило, физически совместимы, но могут отличаться материалом или покрытием. Точный список замен формируется по сервисному бюллетеню TEL.

Совместимые модели оборудования

Деталь применяется в установках Tokyo Electron следующих семейств (наиболее вероятно — в зависимости от конкретного узла):

• TEL UNITY II / UNITY Me (PECVD, etching)
• TEL CLEAN TRACK ACT 8 / ACT 12 (фотолитографические треки)
• TEL Triase+ / Triase ST
• TEL Telius / Tactras (плазменное травление)
• TEL Alpha / Alpha 8SE

✅ Рекомендация: для гарантированного подбора совместимой модели и подтверждения взаимозаменяемости парт-номеров обратитесь в авторизованный сервисный центр Tokyo Electron или к официальному дистрибьютору запчастей — они сверят номер по внутренней базе и предоставят актуальный cross-reference лист.

Если у вас есть фото детали, чертёж или дополнительный контекст (какая камера/установка), могу уточнить назначение компонента и narrowed список совместимых моделей.