Tokyo Electron 2L80-004254-V2 — Описание, характеристики, парт-номера и совместимость

⚠️ Важно: Tokyo Electron (TEL) — производитель оборудования для полупроводникового производства. Большая часть каталожных номеров является внутренними (internal part numbers) и не публикуется в открытых источниках. Приведённая ниже информация носит справочный характер. Для точных данных (описание, ревизия, применимость) рекомендуется запрашивать у TEL или у авторизованных поставщиков запчастей (например, через сервисные центры TEL, MKS, или дистрибьюторов вроде SurplusGLOBAL, Radwell, Innov8 Solutions).

1. Описание

2L80-004254-V2 — это внутренний парт-номер Tokyo Electron, обозначающий, как правило, запасную часть/компонент для установок плазмо-химического осаждения (PECVD), плазменного травления (Etch) или CVD/ALD-систем производства TEL.

Формат номера (2L80-XXXXXX-V2):

• 2L80 — код категории/платформы изделия (семейство узла);
• 004254 — уникальный идентификатор детали;
• -V2 — ревизия/версия (Version 2).

По аналогии с другими номерами серии 2L80 это могут быть:

• узлы газораспределения (gas delivery / showerhead assembly),
• керамические/кварцевые компоненты камеры,
• датчики, фитинги, клапаны, VCR-соединения,
• электронные модули (RF, контроллеры),
• механические части (линеры, кольца, держатели).

2. Технические характеристики (типовые для серии)

| Параметр | Значение (справочно) | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL), Япония | | Парт-номер | 2L80-004254-V2 | | Ревизия | V2 | | Тип | Запасная часть / компонент камеры или газовой линии | | Совместимые среды | Плазма, агрессивные газы (Cl₂, HBr, SF₆, CF₄, O₂, Ar, N₂) | | Материалы (типично) | Al₂O₃, кварц, SiC, нерж. сталь 316L (EP), PTFE/PFA | | Рабочая температура | от −20 °C до +250 °C (зависит от узла) | | Рабочее давление | 10⁻⁶ – несколько Торр (вакуумные системы) | | Класс чистоты | Semi Grade / UHV совместимо | | Вес / габариты | Уточняются по конкретной ревизии |

Точные ТУ (геометрия, допуски, класс поверхности Ra, размер VCR-фитинга и т.д.) доступны только в оригинальном чертеже TEL.

3. Возможные парт-номера (аналоги и связанные позиции)

Прямые публичные кросс-референсы для 2L80-004254-V2 отсутствуют. По практике TEL используются:

| Позиция | Назначение | |---|---| | 2L80-004254 | Базовая версия (до ревизии V2) | | 2L80-004254-V1 | Ревизия 1 | | 2L80-004254-V2 | Ревизия 2 (текущая) | | 2L80-004254-V3 (при наличии) | Более поздняя ревизия |

Возможные OEM-аналоги компонентов (если узел стандартный):

• Swagelok / Parker — фитинги VCR
• MKS Instruments — датчики давления, клапаны
• VAT — вакуумные затворы
• CoorsTek / Kyocera — керамика
• Heraeus / Momentive — кварц

Точные аналоги определяются только по фото/чертежу детали.

4. Совместимые модели

Без официального кросс-референса от TEL точный перечень платформ указать нельзя. Номер серии 2L80 традиционно используется в:

• TEL Unity / Unity II / Unity IIe — системы CVD/PECVD;
• TEL Trikon / Eclipse — PECVD;
• TEL Alpha / AWP — плазменная обработка;
• TEL CT / CX / CS — плазменное травление;
• TEL Tactras / Tactras Vigus — платформы травления (частично, в зависимости от ревизии камеры).

Для точного подтверждения совместимости нужно сверить номер с BOM конкретной установки через TEL Online Service или у сервис-инженера.

5. Как получить точные данные

1. TEL Customer Support / Online Parts — запрос по парт-номеру (нужен контракт с TEL).
2. Официальные дистрибьюторы запчастей TEL — SurplusGLOBAL, Radwell, Innovative Komponents, SemiParts.
3. Сервисные мануалы и BOM конкретной установки (Unity, Tactras и т.п.).
4. Замер и фото детали — поможет идентифицировать родительский серийный номер.

Если у вас есть фото детали, наименование установки (модель TEL) или серийный номер оборудования, я смогу точнее сопоставить 2L80-004254-V2 с конкретной платформой и найти возможные кросс-референсы.