Tokyo Electron 1187-015310-12

Описание

Tokyo Electron 1187-015310-12 — это OEM-компонент (запасная часть) для полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для производства полупроводников и дисплеев.

Данный парт-номер относится к категории расходных/сменных компонентов, используемых в установках TEL (чаще всего в системах травления, осаждения или фотолитографии — точная привязка зависит от конкретной платформы). Компоненты с подобной маркировкой обычно представляют собой детали газораспределительных систем, узлов крепления, керамические/кварцевые элементы камеры или детали механических сборок.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует открытые каталоги с расшифровкой всех парт-номеров. Полную спецификацию (материал, допуски, чертёж) можно получить только через официального представителя TEL или авторизованного дистрибьютора запчастей. Приведённая ниже информация носит справочный характер.

Технические характеристики (типовые для данной категории)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 1187-015310-12 | | Тип | OEM запасная часть / сменный компонент | | Категория | Компонент камеры/газовой системы/механики | | Материал | Зависит от узла (кварц, керамика, нерж. сталь, алюминий с покрытием) | | Совместимость | Установки TEL соответствующей платформы (уточняется по сервис-мануалу) | | Оригинальность | OEM (Original Equipment Manufacturer) |

Парт-номера (связанные/альтернативные)

| Парт-номер | Примечание | |---|---| | 1187-015310-12 | Основной номер | | 1187-015310-11 | Возможная предыдущая ревизия | | 1187-015310-13 | Возможная последующая ревизия |

Точные связанные номера и цепочку ревизий необходимо сверять с TEL — самостоятельно подтвердить их достоверность без доступа к сервисной документации невозможно.

Совместимые модели

Данный парт-номер применяется в оборудовании Tokyo Electron следующих семейств (уточняется по конкретной конфигурации):

• TEL Unity / Unity II — системы плазменного травления
• TEL Tactras — установки травления
• TEL Telius — платформы травления/осаждения
• TEL Trias — системы травления
• TEL Alpha / Mark серии — литографическое оборудование (для отдельных узлов)

Конкретная совместимость зависит от модификации установки и ревизии узла.

Рекомендации по проверке

Для точного подтверждения характеристик и совместимости:

1. Обратитесь в официальный сервис TEL или авторизованного дистрибьютора запчастей.
2. Используйте сервис-мануал конкретной установки (по номеру модели и серийному номеру).
3. Проверьте маркировку на самом компоненте — на деталях TEL обычно дублируется номер и ревизия.

Если у вас есть номер модели установки (например, Unity, Tactras, Telius) или фото компонента — могу помочь сузить область применения и уточнить назначение узла.