Tokyo Electron 1181-000826-14

Описание

1181-000826-14 — оригинальный сервисный компонент (парт-номер) производства Tokyo Electron (TEL) , используемый в оборудовании для производства полупроводников. Деталь относится к категории расходных/сменных узлов камеры обработки и применяется в установках плазмохимического осаждения/травления (CVD/Etch) линейки Tokyo Electron.

Компонент поставляется как оригинальная запчасть (OEM) и предназначен для замены при плановом техническом обслуживании (PM) с целью поддержания стабильности технологического процесса и чистоты камеры. Точная функциональная принадлежность (например, элемент газораспределения, крепёж, уплотнение, деталь подложкодержателя) в открытых каталогах TEL не раскрывается — для подтверждения назначения рекомендуется сверка с сервисной документацией конкретной установки.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 1181-000826-14 | | Категория | Сервисная запчасть / расходный компонент | | Область применения | Полупроводниковое производственное оборудование (CVD/Etch, камера обработки) | | Материал | Зависит от узла (металл/керамика/полимер — уточняется по документации) | | Тип поставки | OEM, оригинальная упаковка | | Условия хранения | Чистая среда, защита от пыли и влаги |

⚠️ Точные физические параметры (габариты, масса, материал, допуски) Tokyo Electron публикует только в закрытой сервисной документации. Приведённые данные — общие для категории.

Парт-номера (кросс-референс)

• 1181-000826-14 — основной (базовый) номер
• Возможны варианты с суффиксами ревизии (например, -14, -13 и т.п.) — обозначают ревизию детали
• Кросс-номера сторонних поставщиков (аналоги/aftermarket) могут отличаться — требуют проверки у поставщика

Полный список альтернативных номеров TEL предоставляет авторизованным сервис-партнёрам; публичного открытого кросс-каталога нет.

Совместимые модели

Парт-номер применяется в оборудовании Tokyo Electron для пластин диаметром 200/300 мм, в частности в установках:

• Clean Track (системы нанесения фоторезиста/проявления — coater/developer)
• Etch системы (плазмохимическое травление)
• CVD/ALD системы (осаждение)

⚠️ Конкретная совместимость с моделью (например, серии CLEAN TRACK ACT, Lithius, Tactras, Cellesta и др.) должна подтверждаться по сервисному мануалу и BOM вашей установки — без этого гарантировать совместимость нельзя.

Рекомендация

Для точного подтверждения назначения, ревизии и совместимости обратитесь:

1. в авторизованный сервис Tokyo Electron,
2. к поставщику запчастей с запросом datasheet/BOM,
3. в документацию вашей установки (раздел Preventive Maintenance).

Если укажете модель установки TEL — помогу сориентировать по типовому назначению узла и порядку замены.