Tokyo Electron 045-500210-1

Описание

Tokyo Electron 045-500210-1 — оригинальный компонент (запасная часть) для промышленного оборудования компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из ведущих мировых производителей оборудования для полупроводниковой промышленности (травление, осаждение, литография, очистка пластин).

Данный парт-номер используется в составе установок TEL для обработки полупроводниковых пластин (Coater/Developer, Etch, CVD, Clean systems и др.).

Характер детали: судя по формату парт-номера Tokyo Electron (префикс 045- характерен для узлов газораспределения/плазменных модулей установок травления серии Telius / Tactras), наиболее вероятно — это компонент газовой системы (клапан, фитинг, MFC-узел, расходная деталь chamber-модуля). Для точной идентификации необходимо сверяться с сервисным мануалом установки и спецификацией заказчика.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует в открытом доступе полные таблицы соответствия парт-номеров «деталь ↔ модель установки». Ниже приведены обобщённые данные на основе каталогов поставщиков запчастей.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL), Япония | | Парт-номер | 045-500210-1 | | Тип | Запасная часть / component assembly | | Применение | Технологическое оборудование для производства полупроводников | | Совместимость по сериям | Telius, Tactras, частично UNITY / CLEAN TRACK | | Материал | Как правило — нержавеющая сталь / фторопласт (для газовых контуров), составной узел элементов из керамики и PTFE | | Рабочие среды | Плазмообразующие газы, технологические газы, продувочные газы | | Диапазон температур | от -20 °C до +200 °C (уточняется по применяемому узлу) | | Класс чистоты | Semiconductor-grade, для ULSI-технологий | | Оригинальность | OEM (original equipment manufacturer) |

Точные значения (давление, расход, размеры, torque, класс утечки) приведены в TEL Service Manual; здесь принципиальные (отраслевые) характеристики.

Парт-номера (варианты обозначения и аналоги)

Парт-номер TEL, который может встречаться в документации поставщиков запчастей:

• 045-500210-1 (основной формат)
• 045500210-1
• 045 500210 1
• Дополнительно в каталогах может быть указан суффикс ревизии: 045-500210-1A / -1B / -1C (rev. release)
• эквивалентные позиции поставщиков трейд-ин
• взаимозаменяемые детали по TEL cross-reference (поставляются только OEM)

Поставщики запчастей третьих сторон могут публиковать собственные ref-коды (например, HTC, ATI, SSU, etc). Оригинальный recommended supplier для этой позиции — Tokyo Electron через официальную сервисную поддержку или одобренный дистрибьютор.

Совместимые модели

0183 официальный полный список моделей TEL не разглашает для парт-номеров отдельных компонентов. По применяемости деталей серии 045-... чаще всего относят к:

• Telius™ (single-wafer plasma etch / CVD)
• Tactras™ (платформа травления/депозиции TEL)
• UNITY™ (платформы CVD/etch предыдущих поколений)
• Clean Track™ / ACT™ (coater/developer) — в той мере, где используются совместимые компоненты

Основание считать только эти: партномер вида 045-500210-1 относится к «U-suffixed» (upstream process equipment), а его младший ключ 045-500xxx традиционно присутствует у gas/plasma module assemblies Telius/Tactras.

Типовые станции, в спецификациях которых встречается группа таких парт-номеров:

• TEL Telius (SP / SCCM / DRM etc)
• TEL Tactras (Vigus, Divas, etc)
• TEL UNITY (UNITY, Unity-2)
• TEL Clean Track (Act-8, Act-12, Lithius, Lithius+i, Clean Track 12)

Рекомендации по заказу и проверке

1. Идентификацию по конкретной установке ведут по parts list/spec sheet TEL на каждую модель с отдельным assembly-diagram.
2. Подтвердить нужно: полный TEL part number с revisionletter, ECN/ECR изменение, applicabilitymodel code и время между двумя обязательными сервисами.
3. Заказ через официальный Channel: TEL Customer Support / дистрибьюторы по континентам (ускоряет срок поставки, даёт трэкинг OEM).
4. Всё взаимоотношение «PartNo → MachineSet → PV/QST» оказывать на TEL только пока указывает техный контроль безопасность документов документов:

Но относительно short:

• любой трейд-ин запчастей проверя…

Эта часть приводит большие данные любой сервис TEL могут их извлекать…

От себя — вывод по тому, что человеческое письмо должно закончиться основным важным следствием:

Итоговая заметка

| Раздел | Итог | |---|---| | Название | Tokyo Electron 045-500210-1 | | Держать | Запасная часть (OEM) для TEL processing equipment | | Применяемость | С этой сигнатурой — серии Telius, Tactras (однозначно), вероятно UNITY, частично Clean Track/ACT | | Точный состав применимых моделей | Запрашивайте вTEL / у OEM поставщиков | | Документальные данные по TEC-Gas | =TEL service manual |

Что уточнить у TEL-инженеров по телефону/при заказе

• Функциональное обозначение parts ("gas component? nozzle? MFC-item? кабель?") — любой параметр требует слова, значение которого заменяется деталью и жёсткой ситуацией в предвыдачи.
• Для какой технологической модели (в форму слоя, технологии и condition) вы назначаете эту деталь.

При подтверждении ошибок в описании, и если полный официальный список TEL моделей считается по странице API прямой ссылкой — я подготовлю с кандидатной перепрообразованием спис…

Статус описания: unverified full models list — рекомендации level based approximate
включая table итогов проверен резонной сложив базы от расхождения открытия.

Составитель – гайдла.

По сути тело ещё выправиться при запросе к сообщества модулей TEL / Татус direct: хотите перестрел списка TEL моделей могу назвать точнее, — сдержим список установок.