Tokyo Electron 3809221348

К сожалению, предоставленный номер "3809221348" не соответствует стандартным форматам серийных номеров или основных номеров деталей (Part Number) Tokyo Electron (TEL).

Для TEL типичны следующие форматы:

• Номер детали (Part Number): Часто начинается с буквенного кода модели, например, P-2000X, C-200E, V-200i, F-200, S-200M и т.д., или имеет сложный алфавитно-цифровой формат (например, TELZZZYYYYY).
• Серийный номер (Serial Number): Обычно это длинный цифровой или буквенно-цифровой код, уникальный для каждого устройства.

"3809221348" с высокой вероятностью является:

1. Внутренним инвентарным номером заказчика (например, номер в учетной системе завода-пользователя).
2. Номером упаковки или паллеты.
3. Или, возможно, это номер из специфичной системы маркировки, не являющийся основным для идентификации модели.

Как найти корректную информацию:

Чтобы получить точное описание, технические характеристики и список совместимых деталей, необходим правильный номер модели или основной номер детали (Part Number) TEL.

Где его найти:

1. Табличка (шильда) на оборудовании: На самой установке (часто на дверце, задней или боковой панели) находится металлическая или пластиковая табличка. Ищите поля:
   • Model / Модель: (например, LITHIUS Pro™ Z-E)
   • Type / Тип: (например, TEL-2000Z)
   • Part No. / Номер детали:
2. В руководстве по эксплуатации или паспорте оборудования.
3. На управляющем компьютере (MC): В системной информации интерфейса оператора.
4. На самой ключевой заменяемой детали (например, на блоке подачи газа, модуле RF-генератора, камере).

Пример описания для гипотетической модели Tokyo Electron (для иллюстрации формата):

Модель: Tokyo Electron TEL Trias™ SPA

Описание: Многофункциональный плазменный травщик (Plasma Etcher) для обработки кремниевых пластин диаметром 300 мм. Оборудование предназначено для процессов высокоскоростного и высокоточного травления диэлектрических и металлических пленок в производстве полупроводниковых устройств по техпроцессам 65 нм и менее. Система обеспечивает высокую однородность и воспроизводимость процесса за счет продвинутой системы управления плазмой и температурным режимом нижнего электрода.

Основные технические характеристики:

• Размер пластины: 300 мм
• Производительность: До 120 пластин в час (в зависимости от рецепта)
• Техпроцесс: Поддержка 65 нм, 45 нм, 28 нм
• Источник плазмы: Радиочастотный (RF), 13.56 МГц / 2 МГц, с возможностью двойной частоты
• Контроль температуры нижнего электрода: От -20°C до +100°C
• Вакуумная система: Турбомолекулярный насос, скорость откачки > 2000 л/с
• Газовые линии: До 8 независимых линий подачи технологических газов (CF₄, C₄F₈, O₂, Ar, N₂ и др.)
• Интерфейс: SECS/GEM, автоматическая загрузка/разгрузка (FOUP)
• Габариты (ШxГxВ): ~ 2000 x 2500 x 2200 мм

Примеры парт-номеров (Part Numbers) для ключевых компонентов:

• Основной модуль: TEL-TRIAS-SPA-MAIN
• Модуль RF-генератора 13.56 МГц: TEL-RF-13M-2000W
• Датчик давления в камере: TEL-PG-5000-SEN
• Комплект прокладок (Seal Kit) для камеры: TEL-TRIAS-SEAL-KIT-01
• Фильтр для системы охлаждения: TEL-COOL-FLT-100

Совместимые модели / Платформы:

• Может интегрироваться в технологические линии с роботами-перегрузчиками TEL M-GEAR™ или V-GEAR™.
• Совместима со стандартными FOUP-контейнерами (300mm FOUP).
• Является частью семейства травщиков TEL Trias™ и может использовать общие запасные части и ПО с моделями Trias™ SPA, Trias™ EX.
• Часто используется в кластерах (Cluster Tool) с другими модулями TEL, например, с очистными модулями TEL Cellesta™.

Рекомендация: Найдите основной Model/Type номер на оборудовании. С этой информацией вы можете:

1. Обратиться к официальной документации от Tokyo Electron.
2. Связаться с официальной службой технической поддержки TEL или вашим прямым поставщиком оборудования.
3. Провести поиск в технических базах данных или каталогах запасных частей для полупроводникового оборудования.