Tokyo Electron 20000300

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для устройства Tokyo Electron (TEL) 20000300.

Важное примечание: Номер 20000300 является внутренним индексным или серийным номером компании Tokyo Electron. Это не стандартный номер модели коммерческого продукта, по которому можно найти публичную спецификацию. В контексте оборудования TEL (особенно для очистки (Clean), проявки (Develop), травления (Etch) или нанесения покрытий (Coat)) такой номер обычно относится к одной из следующих категорий:

1. Сборочный узел или модуль: Крупный компонент (например, блок дозирования химикатов, модуль нагревательной плиты (Hot Plate), камера, система подачи газа).
2. Запасная часть / расходный материал: Ключевая деталь, подлежащая замене (например, датчик, клапан, фильтр, уплотнение, распылительная головка).
3. Комплект для модернизации (Retrofit Kit): Набор деталей для обновления или изменения конфигурации существующего оборудования.

Для получения точной информации необходимо идентифицировать базовую модель основного оборудования (например, TEL LITHIUS, TEL CLEAN TRACK ACT, TEL TRIAS), в котором используется данный узел.

Общее описание (на основе наиболее вероятного сценария)

Tokyo Electron 20000300 — это, с высокой вероятностью, сборочный узел или модуль для системы нанесения фоторезиста (Coater) или системы проявки (Developer) серии TEL CLEAN TRACK™. Эти системы являются ключевыми элементами в фотолитографическом процессе производства полупроводниковых пластин.

Предполагаемое функциональное назначение:

• Модуль охлаждения/нагревательной плиты (Chill Plate / Hot Plate Module): Для термостабилизации пластины перед нанесением резиста или после проявки.
• Блок дозирования химикатов (Chemical Dispense Unit): Для точной подачи фоторезиста, раствора для проявки или вспомогательных жидкостей.
• Модуль обработки (Process Module): Камера, в которой происходит непосредственно нанесение покрытия или проявка.
• Система выравнивания (Alignment Unit): Для позиционирования пластины.

Предполагаемые технические характеристики (обобщенные для подобных модулей TEL)

| Параметр | Описание / Типовые значения | | :--- | :--- | | Назначение | Модуль для системы CLEAN TRACK (Coater/Developer) | | Совместимый размер пластин | 200 мм (8"), 300 мм (12"), возможно 150 мм (6") | | Тип интерфейса | Встроенный модуль, подключаемый к главному контроллеру и системам подачи химикатов/газов. | | Материалы исполнения | Нержавеющая сталь (SUS), тефлон (PFA), кварцевое стекло, керамика (для нагревательных элементов), химически стойкие эластомеры (уплотнения). | | Точность управления | Высокая. Температура: ±0.1°C - ±0.5°C, дозирование: ±0.1 мл, позиционирование: ±1 мкм. | | Коммуникации | Внутренняя шина TEL (проприетарная) или стандартные интерфейсы (Ethernet, SECS/GEM). | | Требования к среде | Чистое помещение (класс ISO 4-5), подключение к чистой азотной подушке, деионизированной воде, системам вентиляции. |

Парт-номера (Part Numbers) и совместимые модели

Для точного определения связанных парт-номеров и совместимости необходима основная модель оборудования.

1. Наиболее вероятные совместимые основные модели оборудования (Platforms):

• Серия CLEAN TRACK™:
  • ACT (Advanced Clean Track): Модели для 200мм и 300мм пластин (напр., ACT 8, ACT 12).
  • LITHIUS: Современные модели для передовых техпроцессов (напр., LITHIUS Pro, LITHIUS Prime).
  • MARK: Стандартные серии.
• Серия TRIAS™: Модели для процессов очистки в одном инструменте (SMT — Single Wafer Wet Processing).

2. Примеры связанных парт-номеров (как они могут выглядеть):

• Полный номер детали: 20000300-001 (где -001 — это ревизия или модификация).
• Взаимозаменяемый узел (Alternate Part): 20000301 или 20000299.
• Номер комплекта (Kit Number): KIT-20000300 — если это набор деталей для обслуживания.
• Номера компонентов внутри узла: Например, датчик температуры TEL-123456, соленоидный клапан TEL-789012.

3. Как получить точную информацию:

1. Найти шильдик (nameplate) на основном оборудовании. Это главный источник информации.
   • Модель (Model): Например, CLEAN TRACK ACT 12 или LITHIUS Pro Z.
   • Серийный номер оборудования (Tool S/N): Необходим для запроса спецификаций у производителя.
2. Обратиться к технической документации: Руководство по запчастям (Parts Manual) или руководство по обслуживанию (Service Manual) для вашей конкретной модели CLEAN TRACK или TRIAS.
3. Связаться с официальными каналами:
   • Tokyo Electron (TEL): Через официальный сайт или службу поддержки клиентов.
   • Официальные дистрибьюторы и сервисные партнеры TEL в вашем регионе.
   • Использовать внутренние ресурсы: Системы управления техническим обслуживанием (MES/CMMS) на вашем производственном предприятии, где должны быть заведены спецификации.

Вывод

Tokyo Electron 20000300 — это внутренний идентификатор узла. Для заказа, обслуживания или поиска аналогов критически важно определить базовую модель основного оборудования (например, TEL CLEAN TRACK ACT 8), его серийный номер и обратиться к официальной документации или представителям Tokyo Electron. Использование только номера 20000300 без контекста основного инструмента недостаточно для однозначной идентификации.